深圳国际量子研究院深紫外光刻机采购项目意向公开

招标

金额

8586万元

项目地址

广东省

发布时间

2023/10/10

公告摘要

项目编号-

预算金额8586万元

招标联系人谢老师

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

采购单位:	深圳国际量子研究院
项目名称:	深紫外光刻机采购项目
预算金额（元）:	85,860,000.000
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	拟采购的深紫外光刻机将主要用于超导量子计算芯片、硅基量子点计算芯片、可扩展离子阱芯片、超低损耗氮化硅光量子集成芯片等多种量子芯片的研发制备，满足不同种类量子芯片对高精度光刻工艺的需求，对实现量子计算、量子传感的片上应用具有重要意义。要求该设备能够进行6 英寸/8 英寸集成量子芯片的晶圆级批量生产，提供具有高度均匀性、高产量和高精度的光刻工艺。该设备将成为深圳国际量子研究院正在建设的量子芯片和硅基光电子芯片微纳加工平台的核心。
预计采购时间:	2023-12
联系人:	谢老师
联系电话:	0755-88397970
备注:	无