项目名称：真空等离子处理仪
项目编号：JJ20233531
公告开始日期：2023-11-10 10:49:15
公告截止日期：2023-11-15 12:00:00
采购单位：重庆大学
预算总价：未公布
收货地址：重庆大学卓越工程师学院

采购商品：真空等离子处理仪
采购数量：1
计量单位：套
品牌：善准科技
型号：VP-RS20
技术参数及配置要求：技术参数及质量要求：
1、腔体材质：不锈钢
2、*腔体容量（LxWxHmm）：400x250x200
3、*射频电源功率：500W
4、*射频频率：13.56MHz
5、频率偏移量：小于0.2KHz
6、等离子体轰击：从上往下
7、*腔体内温度：＜45℃ @180秒
8、清洗时间：0- 1200S 可调
9、*功率调节：连续可调
10、显示屏：4.3英寸触摸屏
11、*操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制
12、气体流量计：高精密2路浮子流量计
13、提供两路进气通路：流量 0-300ml/min可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，其他混合气体）
14、进气管：两路，Φ6
15、泄压：清洗完成自动泄压，泄压时长可调。可提供氮气或其他气体泄压通道
16、噪音：≤56dB
17、抽真空时间：启动到发出辉光≤70秒
18、*真空检测：触摸屏上有一键真空检测功能，数字显示
19、冷却方式：风冷
20、腔体门：传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金
21、*真空泵控制：主机与真空泵联动，可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭
22、供电电源：AC220V/50Hz
23、箱体平衡：减震橡胶脚杯
24、外形尺寸LxWxH ：不大于560x450x360mm
25、*技术亮点：等离子激发频率为13.56MH，对材料的处理既有清洁、刻蚀的物理作用，也有活化、改性的化学作用。
26、配置：主机（VP-RS20）、真空泵、1.5米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡。整机直发客户指定使用地点，整机序列号在制造商官网可查且与投标响应配置一致。详情请访问原网页！