中标
HKUSTGZ-24-G00256 科研用准分子激光腔体及氟气过滤器采购项目定向采购公示
金额
-
项目地址
-
发布时间
2024/12/12
公告摘要
项目编号hkustgz-24-g00256
预算金额-
招标联系人黄老师020-88331533
公告正文

一、项目基本信息

1、项目编号:HKUSTGZ-24-G00256

2、项目名称:科研用准分子激光腔体及氟气过滤器采购项目

3、采购方式:定向采购

4、项目需求:科研用准分子激光腔体及氟气过滤器,详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由:为保证我校已购准分子激光器(原厂:GIGAPHOTON INC)及光刻机(原厂:佳能株式会社)的使用稳定性(其中准分子激光器是光刻机的光源部件),本项目拟采购准分子激光腔体2套、准分子激光氟气过滤器 4 套。

经调研及专家论证,准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器用于产生步进式光刻机的核心光源,如果没有及时更换,将直接影响光刻工艺的精度良率以及氟气排放的安全性。经调研及专家论证,GIGAPHOTON INC原厂生产的激光腔体及氟气过滤器广泛应用于步进式光刻机,考虑到准分子激光器及光刻机的安全性和稳定性,须从原厂采购配套的腔体、过滤器等耗材备件,才可完全满足采购人微纳加工光刻工艺的科研需求。

综上所述,本项目拟采用定向采购方式,向亘福(上海)半导体设备有限公司(GIGAPHOTON INC指定的中国大陆唯一指定的服务及配件耗材供应商),采购准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器。

2、申请依据:本项目符合《香港科技大学(广州)采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称:亘福(上海)半导体设备有限公司;地址:上海市浦东新区启帆路515号森兰美奂南楼C座16楼

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人:黄老师

联系电话:020-88331533

联系邮箱:carinajlh@hkust-gz.edu.cn

 

香港科技大学(广州)采购处

                                                         2024年12月12日

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