一、项目基本信息
1、项目编号:HKUSTGZ-24-G00256
2、项目名称:科研用准分子激光腔体及氟气过滤器采购项目
3、采购方式:定向采购
4、项目需求:科研用准分子激光腔体及氟气过滤器,详见附件。
二、申请理由及依据
1、申请理由:为保证我校已购准分子激光器(原厂:GIGAPHOTON INC)及光刻机(原厂:佳能株式会社)的使用稳定性(其中准分子激光器是光刻机的光源部件),本项目拟采购准分子激光腔体2套、准分子激光氟气过滤器 4 套。
经调研及专家论证,准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器用于产生步进式光刻机的核心光源,如果没有及时更换,将直接影响光刻工艺的精度良率以及氟气排放的安全性。经调研及专家论证,GIGAPHOTON INC原厂生产的激光腔体及氟气过滤器广泛应用于步进式光刻机,考虑到准分子激光器及光刻机的安全性和稳定性,须从原厂采购配套的腔体、过滤器等耗材备件,才可完全满足采购人微纳加工光刻工艺的科研需求。
综上所述,本项目拟采用定向采购方式,向亘福(上海)半导体设备有限公司(GIGAPHOTON INC指定的中国大陆唯一指定的服务及配件耗材供应商),采购准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器。
2、申请依据:本项目符合《香港科技大学(广州)采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。
三、拟定供应商
1、供应商名称:亘福(上海)半导体设备有限公司;地址:上海市浦东新区启帆路515号森兰美奂南楼C座16楼
四、公示期限
自本公告发布之日3个工作日
五、采购人联系方式
联系人:黄老师
联系电话:020-88331533
联系邮箱:carinajlh@hkust-gz.edu.cn
香港科技大学(广州)采购处
2024年12月12日