采购项目名称

多激发源等离子体镀膜系统采购项目

项目清单

1

多激发源等离子体镀膜系统采购项目

论证

专家

基本

情况

姓名

职称

工作单位

马中亮

教授

中北大学

吕宝亮

研究员

中国科学院山西煤炭化学研究所

王超

教授

中北大学

申请单一来源理由

我校新型碳材料研究院为进行氧化物、氮化物、碳化物陶瓷和非晶碳基薄膜等多类型薄膜的制备及性能研究工作，需采购多激发源等离子体镀膜系统。该系统需要能够综合应用物理和化学气相双重沉积特性，包含离子源辅助磁控溅射系统、磁分离单元、PVM-D型双激发源等离子弧系统、PLC控制系统等配置。可以在同一台设备上制备出不同类型的薄膜材料，尤其是实现非晶碳基多相杂化薄膜的可调控制备。因此，采购该系统对我校在先进薄膜材料领域以及材料科学与工程学科的发展具有积极作用和意义。

经调研，目前只有白俄罗斯戈梅利国立大学表面物理与薄膜技术实验室研制的设备能够满足要求。拟采购系统是该实验室在化学气相-物理气相双重沉积技术的基础上自主研发的，具有独创性和极高实用价值。太原仪诚实验室设备有限公司是白俄罗斯戈梅利国立大学研制的该设备的国内唯一授权代理商。故申请以“单一来源方式”进行采购。

专家论证意见

马中亮：

该项目镀膜系统由白俄罗斯戈梅利国立大学表面物理与薄膜技术实验室研制，是该实验室在化学-物理气相技术的基础上自主研发的，具有独创性和极高实用价值。拟采购的多激发源等离子体镀膜系统，综合应用了物理和化学气相双重沉积特性，可以在同一台设备制备出多种薄膜及各类多层复合薄膜。白俄罗斯戈梅利国立大学是唯一能够生产满足本项目要求设备的生产单位，同意进行“单一来源方式”采购。

吕宝亮：

该设备由白俄罗斯戈梅利国立大学研制的PVM-D型等离子弧系统、磁分离单元、离子源辅助磁控溅射系统、PLC控制系统等设备构成，能够满足金属基、氮化物基以及碳化物基涂层等材料的制备。进口该系统对申请单位在先进薄膜材料学科的发展具有重要意义。白俄罗斯戈梅利国立大学是唯一能满足本项目要求的供应商。因此，同意“单一来源方式”采购。

王超：

该设备包含多激发源等离子体发生装置，可在同一台设备上综合运用物理和化学气相沉积技术制备多种材料的功能性和结构性的先进涂层（薄膜），能够实现低温沉积和良好镀层性能兼得。本项目要求的设备只有白俄罗斯戈梅利国立大学能够生产，同意进行“单一来源方式”采购。