沈阳仪表科学研究院有限公司 KOH 腐蚀机设备采购项目
重新招标公告
招标编号：XDZH-2023YBHW-07
1. 招标条件
本招标项目为 KOH 腐蚀机设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有 限公司，资金来源为企业自筹。该项目已具备招标条件，现对 KOH 腐蚀机设备 采购项目进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：KOH 腐蚀机 1 台，最高限价 180 万元。
★2.2 整体需求：
（1）本设备兼容 4/6 寸硅片，一共 8 个槽，6 个化学液腐蚀槽，包括均为 KOH 腐蚀液，以及 2 个化学液的去离子水清洗槽，均为 QDR 槽。
（2）6 个 KOH 化学液腐蚀槽均配备控温和计时功能，温度精度为±1℃，可 控温度范围为 RT-85℃。
（5）设备外部尺寸不超过 2500*1500mm。 （6）预留自动补液接口。 （7）设备两侧配备水枪。
（3）6 个 KOH 化学液腐蚀槽均配备循环功能并配备药液流量计。 （4）2 个 QDR 槽均具备快排、溢流、鼓泡清洗功能。
（8）设备需要配备 KOH 腐蚀的专用夹具，夹具数量至少 50 套用于我方生产（6 寸 50 套），夹具要求材料耐酸碱，可以进行精密机械加工，以 PEEK 材料最 优，工艺时不能漏液.夹具需要经过我方验证或者已经得到其他同类厂家验证，每个夹具可加工 2 片。
（9）需要提供完整的 PM check list，方便定期维护保养。
2.3 ★交货期：合同签订后 6 个月内。
2.4 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格；
3.2 投标单位应具有两年以上相关产品的生产经验，以及国内知名企业客户 的采购业绩；
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函复印件并加盖公章，同 时应具有三年以上相关产品的生产销售经验；
3.4 本次招标不接受联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 7 月 14 日至 2023 年 7 月 20 日，每天上午 9:00 至 11:30 时，下午 13:30 至 16: 00 时（北京时间），节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。
4.3招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务 大厦1705 室现场领购或通过电子邮件 xdgj_yby@yeah.net 提交资格文件和获取 招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明、法人代表证明、
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
号万众商务大厦）。
件，招标人将予以拒收。5.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 8 月 4 日 9 时 30 分前现场 递交至北京兴电国际工程管理有限公司会议室（地址：沈阳市皇姑区昆山中路 2
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站（http://www.cebpubservice.com/）上发布，因轻信其他组织、个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人、招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招标人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地址：沈阳市大东区北海街 242 号
联系人：潘浩
电话：024-82240270
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号
联系人：尹洪伟、付云鹏
联系电话：18525035687
电子邮箱：xdgj_yby@yeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
2023 年 7 月 13 日