采购项目名称：硅深刻蚀系统冷冻式装置
采购项目编号：清采比选20240711号
对外联系人：本项目不接受咨询
联系电话：本项目不接受咨询
采购单位：清华大学
物资名称：硅深刻蚀系统冷冻式装置
采购数量：1
计量单位：套
单价：￥120000
技术参数及配置要求：冷冻式装置型号：HRZ004-WS-DF 循环液型：氟化液 设定温度范围：-20-90摄氏度 冷却能力：4000W DeviceNet通信 泵变频器和压缩机变频器型 符合欧盟F-Gas（含氟气体）法规 外观尺寸：380x870x950mm 配有HRZ-BP002旁通配管组件
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