中南大学 - 竞价公告 (CB119422023002971)
发布时间：2023-10-16 08:44:21 截止时间：2023-10-19 08:54:09
基本信息：
申购主题：GVC-2000T 高真空磁控离子溅射仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：湖南省/长沙市/岳麓区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪

1/台

北京格微仪器

GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪

外形尺寸 424（L）×345（D）×420（H） 输入电源 220V/800W 可用靶材 所有金属、部分化合物 靶材尺寸 φ57mm 真空室 高硅硼玻璃 φ200×130mm 工作介质 高纯氩气（≥4N） 低真空泵 旋片泵 抽速 1.1L/s 高真空泵 进口涡轮分子泵 抽速 90L/s 极限真空 ≤5×10-3Pa 工作真空 0.1-3Pa 溅射电流 5-200mA 可调 溅射时间 1-999s 可调 样品台 φ125mm 样品台转速 4-20rpm 可调 显示屏 7 英寸 TFT 彩色触摸屏 抽气节拍 ≤5 分钟 进气 全自动 放气 全自动 预溅射 具备预溅射挡板，全自动控制 保护功能 过流保护、真空保护、分子泵过热保护等 膜厚仪（选配） 可实时显示镀膜厚度，并通过设定来控制镀膜过程，最优测量精度 0.1nm，单次镀膜设定范围 1-999nm，最大测量范围 10μm 其它 可根据用户需要，提供定制化产品

按行业标准提供服务

006 GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪产品资料单页(1).pdf