中标
中国地质科学院地质研究所激光剥蚀器采购项目中标公告
激光剥蚀器193nm准分子气体激光器激光传输模块高效率双体积样品室项目现场勘察信息安全认证信用查询激光通量校准激光能量管理气体处理激光剥蚀表现可视化样品台校正次微米级定位束斑圆形/方形光斑光路透射长焦距样品池扫描激光视频观察系统高分辨率相机样品池中的样品进行成像样品靶岩石学显微镜激光源全自动光束能量衰减器自动化Z轴驱动平台内置激光能量监控器检视系统高倍视频显微镜系统高分辨率照相机真彩显示工控机上实时图像导航连续可调的彩色高倍摄像机系统旋转十字交叉偏振系统软件自动控制气路传输系统部件整套设备维修维护技术升级换型系统检测安装调试全套技术资料设备清单培训服务使用常见故障维护维修现场培训应用培训技术原理操作数据处理基本维护设备安装现场服务技术支持安装服务运行维护手册各种技术图表仪器配件软件升级系统软件
金额
209.5万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/06/16
公告摘要
项目编号22cnic026473-031
预算金额210万元
招标公司中国地质科学院地质研究所
招标联系人高老师
招标代理机构中国仪器进出口集团有限公司
代理联系人王先生010-88316256
中标公司北京科荟云景科技有限公司209.5万元
中标联系人-
公告正文
中国地质科学院地质研究所激光剥蚀器采购项目中标公告
一、项目编号：22CNIC026473-031（招标文件编号：22CNIC026473-031）
二、项目名称：激光剥蚀器采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：北京科荟云景科技有限公司
供应商地址：北京市大兴区金星路18号8幢1层118室
中标（成交）金额：209.5000000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数 | 货物单价（元） |
| 1 | 北京科荟云景科技有限公司 | 激光剥蚀器 | 美国应用光谱公司 | LR-S155等 | 1套 | 2,000,705.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
高连荣、高福山、赵颖燕、李迎春、朱志勇
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：参照国家发展计划委员会《招标代理服务收费管理暂行办法》（计价格[2002]1980号）的收费标准，由中标人按中标金额向招标代理机构交纳招标代理服务费。
本项目代理费总金额：2.7045000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
无
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国地质科学院地质研究所
地址：北京市西城区百万庄大街26号
联系方式：高老师 010-68999667
2.采购代理机构信息
名 称：中国仪器进出口集团有限公司
地 址：北京市西直门外大街六号，中仪大厦615房间
联系方式：王先生 010-88316256
3.项目联系方式
项目联系人：王先生
电 话：010-88316256
最终版本 激光剥蚀器 招标文件.pdf最终版本 激光剥蚀器 招标文件.pdf
招标文件
项目编号：22CNIC026473-031
项目名称：激光剥蚀器采购项目
中国仪器进出口集团有限公司
2022年4月
中国仪器进出口集团有限公司，招标文件
目录
第一部分
第一章
第二章
第三章
第四章
第五章
第一部分
目录................................................................................................................................................................1商务部分....................................................................................................................................2投标邀请........................................................................................................................................2投标人须知....................................................................................................................................6评标方法及标准..........................................................................................................................25政府采购合同..............................................................................................................................29拟签订的合同文本......................................................................................................................................29投标文件组成..............................................................................................................................54商务部分..................................................................................................................................54技术部分..................................................................................................................................55，第二部分
政府采购投标文件
（商务部分）
★附件1-1
★附件1-2
★附件1-3授权委托书（适用于自然人投标）....................................................................................
★一、投标函..............................................................................................................................................57法定代表人身份证明复印件（法定代表人参加投标的）..............................................59法定代表人授权委托书（授权代表参加投标的）..........................................................5960★二、开标一览表......................................................................................................................................61★三、分项价格表......................................................................................................................................63★四、商务条款偏离表..............................................................................................................................65★五、投标保证金......................................................................................................................................6668六、投标人具备投标资格的证明文件.....................................................................................................★附件6-1投标人基本情况表..................................................................................................................68★附件6-2-1，法人或者其他组织的营业执照等证明文件、自然人的身份证明如投标人为企业，提
供有效的营业执照副本复印件加盖投标人公章；如投标人是事业单位，提供有效的事业单位法人
证书复印件加盖投标人公章；如投标人是非企业专业服务机构，提供执业许可证复印件加盖投标
人公章；如投标人是个体工商户，提供有效的个体工商户营业执照复印件加盖投标人公章；如投
财务状况报告、依法缴纳税收和社会保障资金的相关证明
具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（提供相关证明材料原件或
★附件6-3
标人是自然人，提供有效的自然人身份证明复印件。.........................................................................★附件6-2-2★附件6-2-369复印件或承诺，加盖投标人公章，格式自拟）.....................................................................................★附件6-2-4参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明.................70符合招标文件要求的供应商特定资格条件的证明材料..................................................71七、提供符合政府采购政策的证明材料（根据自身情况填写和提供）.............................................72八、投标人须知前附表要求的其他投标文件.........................................................................................74九、供应商认为需提供的其他资料
政府采购投标文件
（技术部分）
第二部分
一、技术方案..............................................................................................................................................79技术部分..................................................................................................................................81项目采购需求................................................................................................................................81第六章
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第一部分商务部分
第一章投标邀请
激光剥蚀器采购项目的潜在投标人应在网上获取招标文件，并于2022年5月
19日09时30分整（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：22CNIC026473-031
项目名称：激光剥蚀器采购项目
预算金额：项目总预算210万元，超过预算的投标报价将被视为无效报价。
最高限价：210万元
采购需求：
| 设 备 名 称 | 数 量 （ 套） | 简 要 规 格/要 求 | 交 货 期 | 到 货 地 点 | 备 注 |
| 激光 剥蚀 器 | 1 | 193nm 准 分 子 气 体 激 光 器 ，简 单 高 效 的 激 光 传输 模 块 ， 高 效 率 双体 积 样 品 室。 | 合同 签订 之 日起 6 个月 到货 | 采购 方 指定 地点 | 接受 进口 设 备投 标 |
具体要求详见招标文件第六章项目采购需求。
合同履行期限：合同签订之日起6个月内将中标设备交货至采购人指定地点（中
国地质科学院地质研究所），验收合格后整机免费保修一年。
不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：
（1）具有独立承担民事责任的能力；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（6）法律、行政法规规定的其他条件。
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2.落实政府采购政策需满足的资格要求：对小型和微型企业产品的价格给予6%的
扣除，用扣除后的价格参与评审。残疾人福利性单位视同小微企业，符合条件的残疾
人福利性单位在参加政府采购活动时，应当提供本《残疾人福利性单位声明函》，并
对声明的真实性负责。监狱企业视同小微企业，应提供由省级以上监狱管理局、戒毒
管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件。中标供应商为小型
和微型企业、残疾人福利性单位的，将在中标结果公告的同时公告其《中小企业声明
函》、《残疾人福利性单位声明函》，接受社会监督。优先采购节能环保产品（注：
所采购的货物在政府采购节能产品、环境标志产品实施品目清单范围内，且具有国家
确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书，否则
在评审时将不给予加分）。供应商所投产品中，如有符合政策的节能环保产品的，对
节能环保产品在评审时给予适当加分。
3.本项目的特定资格要求：
（1）投标人为进口设备代理商的须提供生产制造厂家出具的针对本次投标项目的
代理授权函；
（2）投标人未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重
违法失信行为记录名单；
（3）本次招标不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2022年4月29日至2022年5月9日，每天上午9:00-11:30，下午1:00-4:30
（北京时间，法定节假日除外）
地点：根据北京市应急响应号召，尽量避免人员聚集性活动，本项目不进行现场
出售标书，仅通过公对公账户转账进行网上购买（不接受个人汇款）。
方式：按代理机构汇款信息汇款，汇款单上应注明汇款用途、所购招标编号，然
后将购买招标文件须递交的文件、具有银行章的汇款单复印件发至招标代理机构联系
人邮箱，招标代理机构收到邮件后，审核文件和到账情况均符合要求后将尽快以邮件
方式将招标文件发送给购买单位。
报名邮箱：wangjizhong@cnic.gt.cn
购买招标文件须递交以下文件各1份（格式附后），未递交的投标人将不予查阅
和出售招标文件：
1）标书出售记录（加盖投标人公章的PDF版）；
2）标书出售记录（WORD可编辑版）。
售价：600元/本，招标文件售后不退。只有购买了招标文件的投标人才有资格参
与投标。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
2022年5月19日09时30分整（北京时间）
地点：北京市西直门外大街6号中仪大厦6层615会议室。届时请投标人的法定
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代表人或其授权的投标人代表出席开标仪式。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
投标注意事项：
1）仅投标人授权代表1人可进入大厦参与投标和开标活动，请授权代表携带身份
证件和佩戴口罩进入大厦，并保证无高风险地区来京人员（如为高风险地区来京
人员已完成14天隔离期）。
2）请授权代表提前关注微信公众号“北京市健康宝”-进入公众号-注册个人信息-进
入大厦时向保安人员出示本人健康状态查询情况-未见异常-方可进入大厦。
3）请投标人代表至少提前半个小时到达投标地点（中仪大厦），以便有充足的时
间进行各项登记手续。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：中国地质科学院地质研究所
地址：北京市西城区百万庄大街26号
联系方式：高老师电话：010-68999667
2.采购代理机构信息
名称：中国仪器进出口集团有限公司
地址：北京市西直门外大街6号，中仪大厦615房间
联系方式：王先生010-88316256田女士010-88316271
3.项目联系方式
项目联系人：王先生、田女士
电话：010-88316256、010-88316271
4.代理机构汇款信息
户名：中国仪器进出口集团有限公司
开户银行：交通银行阜外支行
账号：110060239012015297042
中国仪器进出口集团有限公司
2022年4月28日
中国仪器进出口集团有限公司，招标文件
标书出售记录
项目名称：激光剥蚀器采购项目
项目编号：22CNIC026473-031
项目经办人：王先生
| 单位名称 | |
| 纳税人识别号 | |
| 来款金额 | 注 ：6 00 元 |
| 来款情况 | 汇款 |
| 项目联系人 | |
| 联系电话 | |
| 电子邮箱 | |
| 购买日期 |
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第二章投标人须知
投标人须知前附表
注：编列内容填写或选择
| 序号 | 条款名称 | 编列内容规定 |
| 1 | 采购项目 | 激光剥蚀器采购项目 |
| 1 | 采购预算 | 项目总预算 210 万元 |
| 1 | 本项目设定的 最高限价 | 无 有，金额：210 万元 |
| 1 | 核心产品 | 无 |
| 1 | 公告媒体 | 中国政府采购网 |
| 2 | 采购人 | 名称：中国地质科学院地质研究所 地址：北京西城区阜外百万庄大街 26 号 电话：010-68999667 联系人：高老师 |
| 3 | 采购代理机构 | 名称：中国仪器进出口集团有限公司 地址：北京市西直门外大街 6 号，中仪大厦 615 房间 电话：010-88316256 联系人：王先生 |
| 4 | 投标人资格条 件 | 1）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； （1）具有独立承担民事责任的能力； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违 法记录； （6）法律、行政法规规定的其他条件。 2）投标人为进口设备代理商的须提供生产制造厂家出具的针 对本次投标项目的代理授权函； 3）投标人未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名 单、政府采购严重违法失信行为记录名单； 4）本次招标不接受联合体投标。 |
| 5 | 项目现场勘察 | 不组织 □组织：___________________ 1. 2. 3. 时间：_____________________ 地点：_____________________ 其他：_____________________ |
| 6 | 样品 | ☑不要求提供 |
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| 序号 | 条款名称 | 编列内容规定 |
| 要求提供： 1、样品制作的标准和要求：_____________________ □2. 样品检测报告：（☑否；□是，检测机构的要求、检测 内容详见第六章项目采购需求） 3. 样品的评审方法及评审标准：内容详见第三章评标办法及 标准 | ||
| 7 | 联合体投标 | ☑不接受 □接受 |
| 7 | 分包 | 不接受 □接受：分包要求详见第六章项目采购需求 |
| 8 | 采购进口产品 | 本采购项目拒绝进口产品参加投标 本采购项目已经财政部审核同意购买的进口产品 |
| 9 | 政府采购强制 采购：节能产品 | 否 □是，采购《节能产品政府采购清单》（第__期）内的产品 |
| 9 | 政府采购强制 采购：信息安全 认证 | 否 □是 |
| 10 | 政府采购优先 采购：节能产品 （非强制类） | 是 |
| 10 | 政府采购优先 采购：环境标志 产品 | 是 |
| 11 | 支持中小企业 发展 | □专门面向中小企业采购项目 非专门面向中小企业采购项目（价格扣除）： ①对小型和微型企业产品的价格给予 6%～10%的扣除，用扣除 后的价格参与评审。本项目的扣除比例为：小型企业扣除 6%， 微型企业扣除 6%。 ②本项目接受联合体投标的，若小型和微型企业的协议合同 金额占到联合体协议合同总金额 30%以上的，可给予联合体 2%～3%的扣除，用扣除后的价格参与评审。本项目的扣除比 例为：2%。 □非专门面向中小企业采购项目（其他优惠）：_________。 |
| 11 | 支持监狱企业 | □专门面向监狱企业采购项目 非专门面向监狱采购项目（价格扣除）：监狱企业可视同 小微企业在价格评审时给予 6%～10%的扣除，用扣除后的价格 参与评审。本项目的扣除比例为：扣除 6%。 □非专门面向监狱采购项目（其他优惠）：_______。 |
| 12 | 其他法律法规 强制性规定或 | ①残疾人福利性单位：视同小微企业，符合条件的残疾人福 利性单位在参加政府采购活动时，应当提供本《残疾人福利 |
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| 序号 | 条款名称 | 编列内容规定 |
| 扶持政策 | 性单位声明函》（声明函格式见投标文件格式），并对声明 的真实性负责。中标供应商为残疾人福利性单位的，将在中 标结果公告的同时公告其《残疾人福利性单位声明函》，接 受社会监督。 ②节能环保产品：优先采购节能环保产品（注：所采购的货 物在政府采购节能产品、环境标志产品实施品目清单范围内， 且具有国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能 产品、环境标志产品认证证书，否则在评审时将不给予加分）。 供应商所投产品中，如有符合政策的节能环保产品的，对节 能环保产品在评审时给予适当加分。 | |
| 13 | 投标人须提供 的其他资料 | 评标方法及标准中商务部分要求提供的相关资料。 |
| 14 | 澄清或者修改 时间 | 2022 年 5 月 4 日前 |
| 15 | 提交投标文件 的截止时间、地 点 | 时间：2022 年 5 月 19 日 09 时 30 分整（北京时间） 地点：北京市西直门外大街 6 号 6 层 615 会议室 |
| 16 | 开标时间、地点 | 时间：2022 年 5 月 19 日 09 时 30 分整（北京时间） 地点：北京市西直门外大街 6 号 6 层 615 会议室 |
| 17 | 其他唱标内容 | 开标一览表、投标保证金 |
| 18 | 投标保证金 | □ 不要求提供 要求提供，数额不得超过采购项目预算金额的 2%，本项目 的投标保证金为：3.1 万元 ，提交方式为下列形式之一：支 票、汇票、本票、电汇（公对公，不接受个人汇款）、投标 担保函。 收款人户名：中国仪器进出口集团有限公司 开户银行：交通银行阜外支行 银行账号：110060239012015297042 注：以电汇方式递交投标保证金须在电汇凭据附言栏中写明 采购编号及用途（投标保证金）。 |
| 19 | 投标有效期 | 自投标文件截止时间起 180 日（日历日） |
| 20 | 投标文件份数 | 正本 1 份， 副本 6 份， 开标一览表及投标保证金 1 份（含保证金退还申请，用于唱 标） 电子文件 1 份（投标文件签字、盖章后扫描件， 投标文件 Word 版， U 盘形式递交，需单独密封递交，密封要求同投标 文件） 注：投标文件的密封和递交要求 详见投标人须知正文 19、 20 条规定，未按照招标文件要求密封的投标文件，递交时会拒 收。 |
| 21 | 封 套 上 应 载 明 | ________________（项目名称） |
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| 序号 | 条款名称 | 编列内容规定 |
| 的信息 | 项目编号：________________ □投标文件正本 □投标文件副本 □开标一览表及投标保证金（含保证金退还申请） □电子文件 在____年____月____日____时____分之前不得启封 投标人名称：________________ 其他________________ | |
| 22 | 信用查询 | 采 购 人 和 采 购 代 理 机 构 将 通 过 “ 信 用 中 国 ” 网 站 （ www.creditchina.gov.cn ） 、 中 国 政 府 采 购 网 （www.ccgp.gov.cn）查询相关主体信用记录。本次查询的信 用记 录打 印的 网页 版将 留存 在评 标报告 中。 本项 目信 用记 录 查询截止时点为投标截止时间。 □投标 人自 行查 询信 用记 录， 如实 提供《 无不 良信 用记 录承 诺》 并加 盖投 标人 公章 。联 合体 参加投 标的 ，所 有联 合体 成 员均须加盖公章。本项目信用记录查询截止时点为。 |
| 23 | 同 品 牌 多 家 投 标人处理原则 | □ 1. 最低 评标 价法 ：相 同品 牌产 品的 不同投 标人 参加 同一 合 同项 下投 标的 ，以 其中 通过 资格 审查、 符合 性审 查且 报价 最 低的 参加 评标 ；报 价相 同的 ，按 照以下 方式 确定 一个 参加 评 标的投标人，其他投标无效。 □随机抽取 □其他_______________ 2.综合评分法:相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查 的不同投标人参加同一合同项下投标的，按一家投标人计算， 评审 后得 分最 高的 同品 牌投 标人 获得中 标人 推荐 资格 ；评 审 得分 相同 的， 按照 以下 方式 确定 一个投 标人 获得 中标 人推 荐 资格，其他同品牌投标人不作为中标候选人。 随机抽取 其 他 ： 评 审 得分 相 同 的 ， 投 标 价 格 低 者排 名 在 前 。 综 合 评 分和投标报价均相同的，则技术得分高者排名在前。 |
| 24 | 定标原则 | 1. 采 购 人 在 评 标 报 告 确 定 的 中 标 候 选 人 名 单 中 按 顺 序 确 定 中标人。 □ 2. 采 购 人 授 权 评 标 委 员 会 直 接 从 中 标 候 选 人 名 单 中 确 定 排 名第一的投标中标候选人为中标人。 注：中标候选人并列的，按照以下方式确定中标人。 □随机抽取 其他：确定有效投标报价最低的中标候选人为中标人。 |
| 25 | 交 货 和 提 供 服 务 的 时 间 、 地 点、方式、项目 服务期限 | 交货和提供服务的时间： 1 详见项目采购需求。 交货和提供服务的地点： 1 采购人指定地点 交货和提供服务的方式： |
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政府采购投标文件
（技术部分）
项目名称：________________
项目编号：________________
投标人：________________
____年____月____日（加盖投标人公章）
中国仪器进出口集团有限公司，招标文件
一、技术方案
说明：投标人应根据第六章采购需求编写技术方案。技术方案包括但不限于：
1.★根据招标文件第六章列出的技术指标和功能要求制作逐项应答表并如实列出投
标货物存在的技术偏离；对招标文件中技术指标和功能要求的简单复制作为投标
文件的技术应答将可能导致投标被拒绝；（技术条款偏离表附后）
2.投标人提供的技术资料和原厂技术文件；
3.从项目正式启动到验收的详细项目时间进度表，包括交货、培训和售后服
务等环节。
4.培训实施方案；
5.售后服务方案；
6.详细的交货清单；
7.对货物验收标准的应答；
8.投标人认为需要提供的其它说明和资料。
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技术条款偏离表
项目名称：____________________
项目编号：____________________
| 序号 | 货物名称及型号 | 数量 | 招标文件中技术 指标及功能要求 | 投标文件中 相对应的技术指标 及功能要求 | 偏差 | 备注 |
投标人（公章）:
投标人代表（签字）:
日期：
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第二部分技术部分
第六章项目采购需求
一、招标设备名称及数量：
| 设 备 名 称 | 数 量 （ 套） | 简 要 规 格/要 求 | 交 货 期 | 到 货 地 点 | 备 注 |
| 激光 剥蚀 器 | 1 | 193nm 准 分 子 气 体 激 光 器 ，简 单 高 效 的 激 光 传输 模 块 ， 高 效 率 双体 积 样 品 室。 | 合同 签订 之 日起 6 个月 到货 | 采购 方 指定 地点 | 接受 进口 设 备投 标 |
二、设备用途/主要配置
主要用于固体矿物微区原位取样，通过与ICP-MS联用，进行固体矿物微区定年及同位素分
析，建立微区原位平面检测技术。
系统主要配置：（未满足要求，投标将被拒绝）
1．ArF准分子激剥蚀器主机一套；
2．样品支架3套；
3．外置能量计1个；
4．信号匀化器1个,用于信号平滑：配有信号平滑器，无记忆效应；99%信号在小于
1秒时间内清除；
5．单波长193nm样品窗镜3个；
6．集成质谱熄火监测系统1套；
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7．NIST610/612标准样品一套；
8．集成汞捕获器一套；
9．质谱触发线（适用于ThermoElementXR及NeptunePlus等型号）一根；
10.仪器控制系统及应用软件
10.1工控机硬件配置（控制激光微区原位样品前处理系统的电脑标准配置）：
（1）工控机主机1台，CPU要求≥IntelI7以上，四核3.0GHz以上，≥32GB内存，
≥1T硬盘；
（2）≥24”宽屏液晶显示器（2个）；
（3）最高可扫描2400以上CPS的扫描仪1台；
10.2预装专业版Windows操作系统和MicrosoftOffice办公软件；
10.3专用软件配置：带有全面控制激光剥蚀系统的专用软件，并具有和质谱仪连接的
功能。
（1）具有样品表面激光通量校准和激光能量管理功能，确保在整个工作周期内监测样
品表面的激光通量。连续监测激光的输出能量以确保可靠的气体处理和优异的激光剥
蚀表现；
（2）具有可视化样品台校正功能，提供次微米级定位；
三、主要技术参数与规格要求
关键技术指标：
#1.束斑尺寸：圆形/方形光斑，圆形光斑尺寸范围4-380µm；（该项为8分）
#2.光路透射长焦距，小样品室窗镜到物镜最大距离≥30mm；（该项为8分）
#3.具备样品池扫描功能：观察系统和高分辨率相机对样品池中的样品进行成像，双视
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场可同时查看，一个看整个样品靶的扫描图片（可从任何来源导入图像，如SEM或岩
石学显微镜），另一个看样品微区，实时观测，方便快速自动找样定点位；（该项为
8分）
#4.双体积样品室，锥形小体积样品池具有螺旋式气流通道，使用硬质不弯曲变形的管
路连接，小体积样品室顶部由窗镜完全密封；（该项为8分）
#5.圆形小体积样品池外置于大体积样品室顶部且绝对固定，防止与光斑的相对位置改
变造成的位置效应，保证放置在样品池内任何区域的样品信号响应一致以及稳定；（该
项为8分）
#6.样品池尺寸（有效使用范围）：长度≥150mm；宽度≥100mm；最多可安装≥20个1
英寸的样品靶；（该项为8分）
常规技术指标：
1.激光源（1.1-1.6项，每项得0.5分，共计3.0分）
1.1准分子激光器：COMPexPro102；激光波长193nm；
1.2激光脉冲宽度：≤20ns；
1.3激光脉冲能量稳定性：≤1%RSD；
1.4最大平均功率：≥4W；
1.5最大脉冲能量：≥240mJ；
1.6最大重复频率：≥20Hz；
2.激光传输系统（2.1-2.8项，每项得0.5分，共计4.0分）
2.1光路：符合FDA/CDRH21CFR，I类激光系统，激光完全联锁，含流量控制器、
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全封闭充氮安全一级的激光安全光束通道；
2.2作业目标能量控制：能量调节分一级调节和二级调节两级，一级调节分四档：
12.5%，25%，50%，100%；二级调节更加精细，从小于5%~100%连续可调节。通过这两
级组合能量调节，可以实现样品表面能量密度的精细调节控制，以及延长光路上器件
的使用寿命；
2.3全自动光束能量衰减器：软件控制的连续可调光束衰减器，其值可依据需求设置，
可1-100%连续调节激光能量作用于目标；
2.4光束均匀性：光学设计保证激光能量均匀稳定作用于目标，获得平整的剥蚀坑，
剥蚀坑具有平板底与光滑壁；
2.5样品表面最大激光能量密度：≥45J/cm2；
2.6Z-stage：自动化Z轴驱动平台及不均匀样品显微镜聚焦调整；
2.7内置激光能量监控器；
2.8多种激光剥蚀模式（单点剥蚀，连续扫描等模式），可任意切换，激光和质谱可
自动联机双向触发；
3.检视系统（3.1-3.3项，每项得0.5分，共计1.5分）
3.1高倍视频显微镜系统：高分辨率照相机；真彩显示；工控机上实时图像导航；连
续可调的彩色高倍摄像机系统；激光视频观察系统，能够使用十字交叉偏振系统反射
照明光，达到自由无失真观察；
3.2照明设备：照明系统带反射光及透射光，视区光强度由软件控制以获得最佳照明；
3.3偏振系统：旋转十字交叉偏振系统，软件自动控制；
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4.气路传输系统（4.1-4.3项，每项得0.5分，共计1.5分）
4.1全自动载气管理，标配双质量流量控制器，高精度氦气MFC流量范围1-1000ml/min，
连续可控；高精度增敏氮气MFC流量范围1-20ml/min，连续可控；
4.2真空泵：带有文氏真空泵，可快速更换样品；
4.3气体阀门自动控制，工控机控制载气旁通阀、紧阀或夹管阀，带有真空、压力数
字仪表；
5.集成样品池（5.1-5.3项，每项得0.5分，共计1.5分）
5.1能自动换气：全自动快速载气管理，多重净化循环，使用无油真空泵；
5.2激光窗口：单波长193nm的激光窗镜3套；
5.3样品池底部带有照明窗口可进行透射光观察；
6.样品台控制系统（6.1-6.5项，每项得0.5分，共计2.5分）
6.1样品台位置重复精度：≤3µm（2sigma）；
6.2样品台移动及定位由工控机软件控制；
6.3支持用扫描影像的定位功能；
6.4样品台具预防震动的减震装置；
6.5系统支持自动剥蚀功能，对激光提供两种触发方式，静态STATIC和动态DYNAMIC
触发激光，并可双向触发通信。
四、交货期及地点
1、交货期：合同签订后6个月内一次性交货至采购方指定地点。
2、交货地点：中标人将签约设备送至中国地质科学院地质研究所指定地点。
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五、质保期：
自中标设备安装验收完毕之日起，中标人必须提供至少1年免费维修服务，并承担返厂维修
的往返运保费及其它所有费用。质保期结束后必须继续提供所有部件和整套设备及维修维护有偿
服务。中标人还应保证在订货合同执行完毕后继续提供有关设备技术升级和换型的所有资料。质
保期内，任何因系统质量而造成问题，中标人将负责免费维修或更换零部件；质保期后的维修，
中标人在收到用户的通知24小时内,将给予明确反应并及时给出解决方案，供方工程师将在72小
时内到达现场提供有效技术支持；质保期后，中标人应免费提供一次现场系统检测。
六、安装调试要求：
要求中标人派技术人员到采购人指定地点进行现场安装调试，直至设备通过验收，并由中
标人承担所有费用（包括往返交通、食宿及安装服务费等）。
七、验收标准：
以本招标文件技术指标为准。厂商须提供产品合格证书、自检报告、相关权威机构测试报
告、全套技术资料、设备清单等；最终用户指定测试地点对主要技术指标进行测试，若测试不
合格，中标方需进行仪器整改，直到用户确认合格为止，厂商负责测试期间一切费用。中标人
提供的设备须是1年内生产的全新仪器，仪器内部无损坏，外表无磨损，外部包装无破损。
验收：货物运至甲方指定地点且安装完毕初步验收合格后，甲乙双方签署“采购货物验收单”。
八、培训要求：
中标人应提供完整、详细以及实用的培训服务。中标人必须按照采购合同或技术服务合同有
关约定的培训形式提供安装、维护和使用等方面的培训，达到最终用户技术人员能够自行使用、
常见故障维护维修的培训目标。培训包括现场培训和应用培训。现场培训仪器的技术原理、操作、
数据处理、基本维护等，时间不少于2天，培训地点由甲方提供。
九、售后服务要求：
（1）中标人必须具备设备安装现场服务与技术支持的能力。并应根据采购人需求，按照中标合同
或技术服务合同的有关约定，提供安装服务和技术支持。
（2）中标人必须按照订货合同或技术服务合同的有关约定，提供完整的设备技术文档资料，包括
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技术说明书、安装手册、运行维护手册、各种技术图表等技术文档。
（3）中标人应提供及时、快速的维修服务。维修响应时间：在保修期内，供应商工程师在收到用
户的维修服务要求后24小时内做出回应，48小时内到达用户现场进行维修，除需进口仪器配件外，
应使仪器恢复正常使用。供应商负责设备终身维修。
（4）中标人必须提供XX年免费维修服务，自接到最终用户书面报修通知起，7个工作日内修复故
障设备。
（5）软件升级：终身免费为用户升级系统软件并提供免费培训。
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