全自动SiO2清洗机(GY202309001)自购结果公示
发布时间：2023-12-06
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	山东联盛电子设备有限公司
中标金额：	498000

公示开始日期	2023-12-06	公示截止日期	2023-12-07 16:04:32
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	预付80%货款，货到验收合格后付20%
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学中心校区新一代半导体材料研究院

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
全自动SiO2清洗机	1	台

品牌	联盛	规格型号	定制
技术参数	清洗能力10-20kg规范：本设备的设计、选购、制造、检验和测试均按照相关国家、半导体行业标准（SEMI-S2）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证，但合同中或技术文件中另有规定的除外。外购配件执行相应的国家标准、行业标准、规范及企业标准；设备包括：设备主体、电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等；并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。主体：设备为封闭式，主体使用10mm象牙白PP板材，结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏，热焊接而成，机台底盘采用6mmPP板热焊接而成，可长期工作在酸碱腐蚀环境中；骨架：碳钢骨架+PP包筋组合而成，防止外壳锈蚀； 台面：高度为800mm（参考），活动式台面板； 设备前部维修门:对开式设计，并设有透明PVC观察窗；整机前部维修门与机械手互锁，自动状态下，对开门打开，机械手停止运行； 上料位：单工位，配备装料功能；下料位：单工位，配备卸料接料功能；工艺槽：模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中，底盘采用满焊接工艺加工而成，杜绝机台的渗漏危险； 管路系统：位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明；氮气通过阀门均选用洁净无油阀门，药液管路采用耐高温PFA或PVDF管，纯水管路采用clean-PVC管，化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放； 电气保护：电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区，电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠；所有可能与酸雾接触的电气及线路均隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件； 排风：后部排风和下沉式设计，排风区酸碱隔离，风量可调节，对操作员有安全保护； 照明：工作区顶部配有LED灯照明，数量4个； 水气枪：设备槽位区配备PTFE材质2只纯水枪和2只氮气枪，方便操作员手工清洗槽体或工件；机台支脚：有滑轮装置及固定装置，并且有高低调整及锁定功能； 安全保障：完善的报警和保护设计，液位、排液均有硬件或软件互锁，直观的操作界面，清晰的信息提示，保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯置于机台上方明显处；PLC可程式控制器＋12寸彩色人机界面操作； 模块化软件、硬件设计，减少故障几率，便于安装和维护； 工艺配方：可存储最少30套，方便设定读存取； 空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀，针阀、三色警灯等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等电气产品，安全可靠； 配备漏电断路保护、漏液检测、EMO开关等安全保护装置； 所有程序参数可修改，操作模式可分为自动/手动； 电路区功能分块，强电、弱电块，便于维护； 电气控制部分均有清晰的标签注明； 具密码保护功能以避免操作人员误改参数：设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护，防腐防水； 电控部分正压空体保护，防水防腐； 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统； 机台底部配有6mmPP材质防漏底盘，配备漏液检测，漏液报警时，机台所有动作均停止； EMO紧急开关位于机台前方以及上下料台端明显处； 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警； 液位异常感知/安全液位保护。
售后服务	服务网点:当地;质保期限:3年;响应期限:报修后2小时;

资产与实验室管理部
2023-12-06