清华大学涂胶显影机一体机采购项目单一来源采购公示 一、采购人：清华大学 二、地址：北京市海淀区清华园 三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn 四、项目名称：涂胶显影机一体机采购项目 项目编号：清设招第 20240069 号 五、采购内容：涂胶显影机一体机 六、采用单一来源采购方式原因及说明 涂胶显影机一体机是与光刻机搭配作业实现超精细线条图形化的必需设备。涂胶 显影机一体机能够满足清华大学高技术实验室器件的教学科研需求，是工艺的支撑设 备。 经市场调研，只有日本的 Tokyo Electron Limited 的型号 ACT8 设备能够与 8 英 寸 KrF 光刻机联机运行，且各项指标均能满足下述配置及工艺要求,故采用单一来源 的方式采购。 七、主要配置及技术参数要求： 1、需提供全新设备，不允许是翻新设备。 2、晶圆尺寸：8 英寸兼容 6 英寸； 3、主轴电机的转速精度：≤±1 rpm； 4、涂胶单元配备至少 8 路光刻胶供胶管路； 5、滴胶精度：≤±0.1 ml（1 ml-8 ml）； 6、晶圆尺寸：8 英寸兼容 6 英寸； 7、主轴电机的转速精度：≤±1 rpm； 8、显影单元每个腔室配备一路显影液管路，一路配备 H 型喷嘴，显影液最大流量： ≥1000 ml/min，一路配备 LD 型喷嘴，显影液最大流量：≥800 ml/min，流量 recipe 可调，流量精度：≤±2%； 9、低温热盘温度均匀性（误差）：≤±0.2℃（50℃-120℃）；≤±0.4℃（120℃-150℃）； ≤±0.6℃（150℃-180℃）； 10、高温热盘温度均匀性（误差）：≤±0.25℃（50℃-120℃）；≤±0.75℃ （120℃-150℃）；≤±1.0℃（150℃-200℃）；≤±1.5℃（200℃-300℃）；≤±2.5℃ （300℃-350℃）； 11、高精度冷热复合盘温度均匀性（误差）：≤±0.1℃（50℃-120℃）；≤±0.15℃ （120℃-150℃）；≤±0.25℃（150℃-180℃）； 12、增粘单元温度均匀性（误差）：≤±0.2℃（50℃-120℃）；≤±0.4℃（120℃-150℃）； ≤±0.6℃（150℃-180℃）； 13、能够与扫描步进式光刻机相配套，配置 2C2D； 14、与扫描步进式光刻机联机使用可实现稳定运行，UPTIME：≥95%； 15 设备配备腔体温湿度控制系统（THC），温度：22℃±0.5℃，最小调整量为：≤0.15℃； 相对湿度：40-50%，最小调整量：≤0.5%； 16、涂胶膜厚均匀性：3σ<10.0 nm(@0.35μm+/-0.5μm)； 17、显影均匀性：3σ<12nm (@130 nm)； 18、湿污染附加颗粒度：≤ 20ea@≥ 0.16 μm； 八、制造商：Tokyo Electron limited 制造商地址：Akasaka Biz Tower, 3-1 Akasaka 5-chome,Minato-ku, Tokyo 107-6325, Japan 九、征求意见期限从 2024 年 4 月 12 日至 2024 年 4 月 18 日止。 十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包 括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华 大学(联系人：王琦 62771946，邮箱：)。