中标
半导体蒸镀仪（JJ2021002363）成交结果公告
金额
-
项目地址
天津市
发布时间
2021/09/22
公告摘要
公告正文
| 成交供应商： |
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| 成交金额： | 280000 |
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| 选标理由： | 符合要求，价格最低 |
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半导体蒸镀仪（JJ2021002363）成交结果公告
| 项目名称 | 半导体蒸镀仪 | 项目编号 | JJ2021002363 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2021-09-22 | 公告截止日期 | |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同签定生效后3个工作日内 | |
| 预算 | |||
| 收货地址 | 南开大学八里台校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 半导体蒸镀仪 | 1 | 台 |
| 品牌 | 沈阳科诚真空技术有限公司 |
|---|---|
| 型号 | KC-ZD400 |
| 技术参数及配置要求 | 一、设备性能： 镀膜设备以蒸发源为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。 二、设备基本结构： 镀膜设备由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架和电控系统组成，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。 三、设备技术指标： 1、真空室腔体：1套 1） 外形：优质304不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸长D400 *高500mm，前门采用横拉方门可与手套箱连接，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，门配DN100视窗1套； 2） 底部：蒸发源接口2套，Hipace700分子泵接口1套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口1套, CF25照明接口2套； 3） 顶部：样品台接口1套，气动挡板接口1套； 4） 侧壁：JCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套； 5） 腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于5 Pa。 2、蒸发源系统：1套 1） 蒸发源2套：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制； 2） 隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 3、样品台系统：1套 1） 基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调； 2） 基片升降：衬底与蒸发源间距150-250mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调； 3） 基片挂架：采用冷水机接入水冷盘，130*130mm插入式样品托架，可承载100*100mm基片1片； 4） 基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。 4、真空泵机组：1套 1） DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台； 2） KF40泵阀连接软管1套； 3） GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台； 4） Hipace700分子泵1台； 5） CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台； 6） CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台； 7） GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台； 8） ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。 5、膜厚检测系统：1套 1） 膜厚仪：采用美国英福康SQM310C石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜； 2） 膜厚探头：美国MCVAC进口水冷膜厚探头1套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。 6、设备机架：1套 1） 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑； 2） 3英寸万向轮4件，移动调整； 3） M16地脚4件，锁紧定位。 7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置） 1） 烘烤照明电源：1台； 2） 总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。 8、其他技术参数： 1） 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； 2） 供电：～220V两相供电系统（峰值3KW）； 3） 供水：小型循环制冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 4） 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门； 5） 极限真空：优于3×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于10分，充干燥氮气。 四、技术服务及质量保证 1） 按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输； 2） 提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； 3） 在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修支核收工本费及差旅费，终身维修支核收工本费及差旅费。 五、现场安装具备的条件 1） 电源220V 50Hz 功率大于5KW，波动范围：小于±6％，配置多路接线插座； 2） 可靠地线, 对地电阻小于2Ω； 3） 安装场地面积大于2.5M2,高度要求高于2.4M； 4） 要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%； 5） 要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间； 6） 外排废气管道。 六、培训 1） 培训时间：2～3天；培训人数：2～3人 2） 培训内容及要求： a） 了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法，熟练掌握整套系统的操作规程； b） 能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换； 对设备能够进行日常的维护和保养 |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
公告来源：
https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/09/22/20KTUSH4A71EMV7P.shtml
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