招标
电子束控制实践平台采购需求
金额
20万元
项目地址
江苏省
发布时间
2023/03/27
公告摘要
公告正文
江苏大学 - 竞价公告 (CB102992023000043)
发布时间:2023-03-27 08:13:17 截止时间:2023-03-30 08:22:55
基本信息:
申购主题:电子束控制实践平台
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
付款方式:货到验收合格后付款
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
预算:200,000.00 (元)
收货地址:江苏省/镇江市/京口区/****
备注说明:
申购明细:
序号
1
采购内容
电子束控制实践平台
数量
1台
预算单价
200000
品牌
微纳真空
型号
定制
规格参数
品牌:微纳真空,或者英文:VNANO;型号:定制
1.膜厚控制系统:采用进口品牌薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚,1只水冷探头;膜厚仪速率显示分辨率± 0.01Ā/s,厚度显示分辨率±0.015Ā;
2. 操控系统:PLC+触摸屏手自一体操控系统,真空系统的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效;
3. 热阻蒸发源:不少于两组热阻蒸发源;各源均有水冷且独立,采用陶瓷绝缘结构,源间有隔板,源上有气动水平打开式挡板,高度可调,要求磁流体密封;蒸发电源功率不小于2.2kW,电流显示精度0.5A,具备粗调微调功能;
4.报警保护:缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等;
★1、提供书面承诺,可以与学校已有的“电子束蒸镀系统”和“手套箱”系统、“嘉课堂”实训系统进行无缝对接,并提供实物到学校进校对接测试,如果无法对接成功,愿按虚假应标承担全部责任。
2、整机免费保修期2年,需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
附件
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