武汉高芯科技有限公司就自动湿法腐蚀设备在高德红外电子采购平台进行询价采购 ，现公开邀请合格投标人进行网上电子投标。

一、项目内容

项目标号：GDHYXJ000895

项目标名：自动湿法腐蚀设备

交货地点和时间：

二、投标人资格要求：

自动湿法腐蚀设备采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：20210094

（二）项目名称：自动湿法腐蚀设备采购

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90日历天

3.技术要求：

自动清洗机的技术要求

1.槽体数量及种类:

SHAPE * MERGEFORMAT

1# 备用槽 2# 丙酮 3# 丙酮 4# 乙醇 5# 乙醇 6# QDR 7# 甩干机or热N2

工艺初步设计：

1#槽备用，需配备单独供液及回收系统；2~5#如上所示配备供液系统，回收时可混装。

要求实现干进干出功能，下货端不能有液体残留（包括夹具）。

机台运行过程中不会导致破片（集成甩干功能的情况下甩干机破片率低于0.1%）。

可兼容2~4寸晶圆，能兼容方片更佳。

2.槽体需求：

药液槽材质：石英or不锈钢；QDR槽：NPP材料or其它；

药液槽功能：液位监控；高、中、低三档，每次补液至高液位，中液位以下自动补液，

低液位以下报警、停止加工（运行中制品处理）；

水浴or在线式加热装置，加热温度0~100℃，温度稳定±1℃，初始加热过冲不得超过

3℃；温度监控系统，需设置防温度监控卡死导致显示工艺温度与实际温度不符。

振荡：所有药液槽配备，采用伺服电机控制，振荡幅度≥50mm，频率可调10~60次/min，顶端缓速功能（原点位才能取、放制品）。

超声：所有药液槽配备，超声频率可调，输出功率可调（弱，中，强）。

甩干机组件：纯水、氮气等过滤装置，达到湿进干出效果。

3.系统：

中文操作界面，主页面操作方便、直观；

作业过程实时监控、存储、可查询（包含作业过程中温度实时情况，溶液使用情况，清

洗轮次，片量，批次号，工艺条件等信息）；

工艺程序根据需求可自主、自由编辑（包含冲水槽程序），根据设定清洗片量和药液使用寿命自动换液（冷却槽组件，排液桶需抽风柜及高液位报警），温度不在工艺范围内时停止待温度稳定后正常作业；（可同时运行多种不同程序）

异常报警信息及处理情况等实时监控、存储、可查询；

可设置多种权限控制，不同权限对应开放相关功能；

需具备各种防错、误操作导致设备及制品损伤的互锁程序，需安装各类安全防护装置。

4.设备主要配件：

机体框架：不锈钢骨架结构，不锈钢外壳（or外包进口PP板）

QDR槽：NPP材料，具备喷淋、溢流、鼓泡和快排功能

药液槽：石英or不锈钢并配备液位等监控装置

振荡装置：

超声装置：

工控机：

供液、排液泵：

气控阀：

5.设备安全：

机台登陆权限设定：可自主设定，多模式权限登陆

自动灭火系统：自行监控（包含手动模式下）

氮气、压缩空气、排风等检测、报警

过载保护及漏电短路保护功能

漏液检测报警功能

EMO紧急停止功能

6.验收：

发货前到厂预验收；

达到技术协议参数要求；

设备稳定性；

7.培训及售后服务：

技术培训：供应商工程师在调试完成后，对用户操作人员、维护人员、工艺人员、管理

人员进行技术培训，其中包括但不限于设备操作培训、维修课程培训和使用技术培训等；

设备保修期；提供7*24H电话支持服务，并能在24H内到厂响应。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn ）失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：2021-8-19 17:30

（二）地点：武汉市东湖技术开发区黄龙山南路6号

四、联系事项

联系人： 刘奇涛电话：027-81298303

五、监督电话：

审计监察部：027-81298317

武汉高芯科技有限公司

2021 年 8 月 12 日

三、投标人须登录高德红外电子采购平台（http://61.183.139.71:8002）进行投标和开标活动，务必在开标前完成注册并获得投标资格，中标情况将在本网公示。

四、网上投标方法：具体步骤请参照本网站首页“服务指南”。

五、报名截止时间：2021-08-24 09:34，投标截止及开标时间：2021-08-24 09:34，投标人应于投标截止时间前在高德红外电子采购平台成功递交所有电子投标文件。

六、物理开标地点：

七、有意者可与李云芳联系，业务联系电话：电话： 邮箱：user@mail.cn 。

纪检投诉受理：

高德红外电子采购平台

2021-08-19 09:39