薄膜外延沉积设备项目采购公告

我部拟采购薄膜外延沉积设备,数量1台，为确保采购活动公平公正和竞争充分，现将项目需求公告如下。

• 项目名称：

薄膜外延沉积设备

• 项目编号：

2024-YKKTKX-W4038

• 货物名称、技术要求、商务要求

薄膜外延沉积设备，数量：1台

1.最高工作温度＜1100℃；

2.设备升降温速率≤80℃/min

3.设备尺寸：长220-225mm，宽80-90mm，高45-55mm；

4.热场尺寸：长75-80mm，截面11*11mm（外径）；

5.可置衬底尺寸≤18×5mm；

6.可控温区数量：2个；

7.光学窗口数量：2个；光学窗口直径：8mm；

8.制冷类型：主动水冷系统；

(三)商务要求:详见《采购文件》

四、采购文件发送时间、地点、方式

（一）报名及采购文件发出时间：

2024年4月12日至2024年4月18日（8:00-12:00,14:30-17:30）（北京时间）。

（二）报名方式：自本采购项目公示起，供应商进行报名。完成以下步骤确认报名：1、电话方式通知采购方联系人；2、将供应商全称、报名项目（编号）、联系人姓名、电话、电子邮箱发送至采购方联系人邮箱。

（三）采购文件获取方式：采购方联系人将采购文件通过电子邮件方式或传真方式发送至报名供应商。

五、递交响应文件的截止时间和地点

（一）响应（报价）文件递交时间：2024年4月25日上午10:00前（北京时间），采购评审稍后开始。

（二）响应文件递交地点：湖南省长沙市

（三）报价方式：指定专人递交报价文件或密封后邮寄等其他方式。

（四）报价文件必须盖章、密封提交。

六、联系方式

联系人： 陶助理               电话：0731-87007809   18273138863

传  真：0731-87007810  邮箱：295204767@QQ.com  地址：湖南省长沙市