深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024001262)
发布时间：2024-10-10 16:12:18 截止时间：2024-10-18 12:00:00
基本信息：
申购主题：高精度光刻机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：签订合同后7天内送货
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：199500 人民币

收货地址：广东省/深圳市/南山区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

高精度光刻机

1(套)

199500

XL 兴林真空

C-25XB型

1. 该光刻系统需满足制作IV-VI族半导体光电探测器的光刻工艺需求。 2. 有四种版夹盘,能真空吸附5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩板。对版的厚度无特殊要求（1～4mm皆可）。 3. 设有相对应的真空吸附基片的“承片台”三个，分别适用于φ2、φ3、φ4。对于非标准片或碎片，只要堵塞相应的小孔，同样能真空吸附。真空度范围-0.07～－0.08MPa。 4. 曝光不均匀性≤3%。 5.曝光分辨率≤0.8μm。 6.套刻精度≤0.8μm。 7.紫外光刻胶曝光平台使用254nm的紫外光作为光源。 8.电机转速稳定度：±1%，电机定时精度：±20PPM。

最终交付产品需原厂提供技术支持、安装及售后服务。 设备在全部验收合格后保质期壹年