采购项目名称：工艺设备搬运入场、定位安装服务
采购项目编号：清设比选20240353号
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采购单位：清华大学
物资名称：工艺设备搬运入场、定位安装服务
采购数量：1
计量单位：项
单价：￥495000
技术参数及配置要求：一、概述
1.1项目地址：北京市怀柔区清华工研院雁栖湖创新中心。
1.2项目内容：将微纳平台一期工艺设备由临时仓库（一楼平层）搬运至B栋厂房洁净室内的指定位置，并配合业主及设备厂商，完成设备拆箱和精准定位安装工作。
1.2.1设备总台套数：101套。
1.2.2临时库房内已到货设备总箱数：214箱。
1.2.3将工艺设备从临时仓库移出，根据实际情况使用各类搬运工机具，转运至B栋洁净室内的指定位置。
1.2.4工艺设备包装拆除、相关垃圾清运处理。
1.2.5工艺设备精确定位及调平。
1.2.6地面、墙面保护等安全文明施工项目。
1.2.7项目标的全程搬运、定位服务保险，要求覆盖全部工艺设备。
1.2.8分阶段完成工艺设备搬入定位工作。对于已到货并存放在临时仓库内的设备，需要在4月集中一批次完成搬入定位工作；对于后期到货的设备，计划分三个批次完成搬入定位工作。
1.3主要设备类别：光刻、气相沉积、清洗机、研磨、测试、封装设备。
二、主要服务需求
2.1将工艺设备从临时仓库移出，根据实际情况使用各类搬运工机具，转运至B栋洁净室内的指定位置。
2.2工艺设备包装拆除、相关垃圾清运处理。
2.3工艺设备精确定位及调平。
2.4地面、墙面保护等安全文明施工项目。
2.5项目标的全程搬运、安装服务保险，要求覆盖全部工艺设备。
2.6因少部分设备未到货，故需分阶段完成工艺设备搬运安装工作。对于已到货并存放在临时仓库内的设备，需要在4月集中一批次完成搬运安装工作；对于后期到货的设备，计划分三个批次完成搬运安装工作。
三、核心服务指标
1、安全、消防、保卫、防护事故为零；
2、质量事故为零；
3、拆卸、运输、安装一次到位，精度达标。
四、详细服务要求
在项目进行过程中，搬运厂商应满足以下工作流程的标准及要求。
《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB 50467-2008
《工程建设安装工程起重施工规范》HG20201
除上述规范外，搬运厂商在作业过程中应当满足以下要求：
4.1作业前检查
4.1.1人员检查：工作人员是否健康、是否持证上岗，安全帽、安全鞋等是否穿戴整齐。
4.1.2机具检查：减振气垫、叉车、吊车、钢丝绳、吊钩、吊装平台、拖车、地牛等工机具是否完好。
4.1.3环境检查：是否有大风、雨雪、沙尘、高温、低温等影响作业的条件。
4.1.4路线检查：搬运路线有无阻碍，是否畅通、平整。
4.1.5清单检查：搬运清单与实际待搬运物（工艺设备）对应情况。
4.2搬运前准备
4.2.1作业区域安全围篱，安排专人绕行劝导，禁止无关人员进入作业区域。
4.2.2班前准备，当天作业内容讲解、各工序人员安排、各工序作业安全细节宣导等。
4.2.3无尘室内洁净及防护准备，无尘室内搬运通路高架地板/环氧地面保护。无尘室内专用搬运工具进入无尘室之前，必须进行充分的清洁并满足无尘室的洁净使用要求。
4.2.4搬运厂商需根据我方要求设计设备搬运日期规划及图纸、设备搬运日程表及甘特图，以上资料均需经过我方审核通过。如有意外天气，延期情况需要实时更新。
4.2.5搬运厂商需为各台设备出具对应的设备搬运作业指导书，内容需要包含人员、机具、工序等内容，覆盖从临时仓储到洁净间内，全位置、全流程详细方案，指导书需要经过我方审核通过。
4.3设备拆箱
4.3.1临时仓库设备搬出，叉车搬运至拆箱点。
4.3.2使用切割机、撬棍、登高梯等工具，按照先顶盖后侧板的原则，完成设备拆箱。
4.3.4拆箱后，甲方设备管理员、工艺设备厂商、设备搬运厂商三方共同进行验收工作。主要关注设备的名称、型号、规格是否正确，装箱清单、技术文件、资料及附件工具是否齐全，设备有无缺损件、表面有无损坏等问题。
4.4直接搬入
一层设备可通过卷帘门、缓冲区进入洁净室。
4.5货梯搬入
对于需要运至二层、三层的设备，如设备重量、尺寸在货梯容纳范围内的，可采用货梯运输。货梯载重3吨，轿厢尺寸（宽*深*高）1950mm*2850mm*2500mm，货梯开门净宽1800mm，使用前应提前进行现场勘察，确保技术可行。
4.6吊装搬入
4.6.1对于不使用货梯的设备，则采用吊装形式完成搬运。先由叉车将设备运至吊篮/吊装平台上，为防止吊装过程中设备滑动，要将设备安全可靠的固定在吊篮/吊装平台上，并提前在吊装口安装固定地栓，以防止吊篮/吊装平台在吊装口进机时晃动。
4.6.2吊装口指挥手通过对讲机对吊车司机发出指令后，吊车司机仅接受吊装口指挥手指挥。吊装时，吊篮应匀速缓慢升起或下降。
4.6.3试吊，先把平台起高十公分，确保吊机承受能力在安全范围后正式起吊。试吊确认无问题后，才能正式吊装。
4.6.4正式吊装时，吊篮应匀速缓慢升起，与吊装口平稳对接。
4.6.5吊篮/吊装平台上楼与吊装口对接，随后搬运人员将设备移动至室内。
4.6搬入前清洁
设备在进入缓冲区前，对设备内包装进行第一道擦拭。设备进缓冲区后，拆除内包装，在设备厂家的指导下，对设备进行第二道擦拭。
4.7无尘车间内作业
无尘车间内的搬运，搬运厂商根据实际情况，使用气垫盘等工具完成运输及就位工作。注意：厂房内暂无压缩空气供应，搬运厂商需自行解决压缩空气来源，如配置柴油空压机等。
4.8作业结束现场6S管理
车间内工具整理暂放，室外清扫清洁，废包材整理整顿、垃圾外运。
4.9工艺设备精确定位及调平
配合工艺设备厂商，对设备进行精确定位及调平，以满足设备调试运行要求为准。设备就位时，要注意设备管口的方位正确、标高正确。设备落下和调整时要平稳、匀速、避免撞击。涉及设备基础的，待设备基础完成后，再进行精确定位及调平。
五、保险要求
本项目要求搬运厂商对其工作人员和全部工艺设备进行全过程投保，需单独并详细说明保费取费方式、理赔形式等关键信息。保险费用计入报价。
工艺设备总价值约人民币32450万元，单台价值最大约人民币2550万元。
六、设备清单
均为半导体制造集成工艺设备，清单另行提供。
七、最高限价
7.1本次报价应含本项目实施过程中的一切费用，包括但不限于人员、机械、材料、环境保护、临时措施、保险、税金等。
7.2本项目的最高限价为49.5万元，超过此报价视为无效报价。
八、其他
8.1厂房外围地面（建筑外墙至道路之间的部分）未做硬化处理，供应商需考虑相应处理措施，保障搬运工作顺利进行。
8.2二层、三层吊装平台承重：活荷载2T/平米。本次待搬运的工艺设备中，含单台3T以上设备，供应商需考虑敷设钢板等散重措施，保障作业安全。
8.3高架地板承重：主物流动线及光刻区1.5T，其余区域1T。
8.4临时仓库与B栋厂房直线距离约50米。
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