采购结果详细（202300114483）---- 中山大学

申购单主题：	CVD气相沉积系统	申购单位：	物理学院
申购备注：

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
CVD气相沉积系统	合肥科晶	OTF-1200X-III-80SL-4Z	1	国内含税价/人民币
规格	一、高温部分： 1.K 型热偶，炉建议升温速率：≤10℃/min，温度：1100℃ （1200℃＜1h），电源：AC220，50Hz ，最大 7KW； 2. 尺寸：80 O.D x 75 I.D x 2400 L （mm） 3.加热元器件掺钼铁铬铝（表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命） 4.加热区：加热区长度：900mm 三温区：300mm+300mm+300mm； 5.密封法兰：一对 SS 304 真空法兰与双高温硅 O 形环包括在内，两个针阀已分别安装在两个法兰上，一个真空压力表安装在一侧法兰； 6.温控系统：·智能化 30 段可编程控制，控温精度：±1℃，三个温区分别有三个独立的温控系统控制，默认 DB9 PC 通信连接端口，通过 MET 认证； 7.加热和冷却速率最大可达 100°C/min，加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到 10°C/s； 二、气路系统： 1. 质量流量控制器：工作电压：AC 220V/50HZ，工作温度：5-45℃，工作压强：3×106Pa，最大输出功率：23W，精度：±1.5%FS，线性：±（0.5～1.5）%F.S， 重复精度：±0.2%F.S； 2.响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec，工作压差范围：0.1～0.5 MPa； 3.各通道的气路设定和查看都集中在一 6"的触摸屏上，RS485 通讯接口和 PC 控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制； 4.机械压力表：量程范围:-0.1~0.15 MPa （0.01 MPa/grid）； 5.针阀 316 不锈钢管件，内部连接管道为 1/4〞不锈钢管，外部通气管道为 1/4〞聚四氟管，气体混料罐 Φ80×120mm，截止阀 316 不锈钢针阀Φ1/4〞； 三、真空系统： 1. 电源：AC 220V 50/60HZ，功率：1KW，抽气速率：3L/S，极限真空度：1.0*10-1Pa； 2.电源：AC 220V 50HZ，功率：≤6W ， 测量范围：1.0*101Pa~1.0*105Pa，有效范围：1.0*100Pa~1.0*104Pa ，测量环境：非腐蚀性密封容器，测量精度：＜±30% ，显示方式：LCD 数显； 3.高真空专用不锈钢阀门，采用氟胶圈密封，连接口：两个 KF25 接口，漏率达 5*10-9Pam3/s。 ▲四·配置：高温烧结炉1台；供气系统1台；真空系统1台；尾气处理装置1套、高温手套1对、石英管1支、氧化铝炉塞1对、高温密封圈8个、炉勾1把；真空法兰2套； 五.售后服务：有专业安装培训工程师，中标后3天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；供货商出具厂家盖章售后承诺函；
中标供应商			单价		初选理由
广东途胜科技有限公司			98640		最低价原则