采购项目名称：砷化镓外延衬底
采购项目编号：清设比选20231205号
对外联系人：本项目不接受咨询
联系电话：本项目不接受咨询
采购单位：清华大学
物资名称：砷化镓外延衬底
采购数量：40
计量单位：个
单价：￥5100
技术参数及配置要求：砷化镓外延片，4寸，双抛，在本征砷化镓衬底上生长外延层厚度分别是1um,2um,3um，外延层掺杂浓度分别是1e17cm-3，1e-16cm-3，1e-16cm-3，外延层迁移率在4000-5000cm2/Vs之间。最上层有10nm的本征砷化镓保护层。
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