采购单位:	深圳国际量子研究院
项目名称:	电子光学系统主机采购项目
预算金额（元）:	1,500,000.000
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	拟采购的电子光学系统主机是一种控制电子束进行扫描偏转的装置，其利用多级电磁透镜系统，控制高电压电子枪发射出的电子束流进行偏转，将加速的电子束按照设计的版图进行控制，在抗蚀剂上高速扫描绘制结构。电子光学系统主机的主要参数：最大加速电压100kV，配有ZrO/W肖特基场发射电子源，XY运动平台支持6英寸样品。设备主要由电子枪、镜筒、真空腔体、基座等部分构成。
预计采购时间:	2024-1
联系人:	刘老师
联系电话:	0755-88397970
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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