东南大学 - 竞价公告 (CB102862023002242)
发布时间：2023-11-30 14:21:59 截止时间：2023-12-04 09:00:00
基本信息：
申购主题：高真空蒸发镀膜系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：198,000.00 人民币

收货地址：江苏省/无锡市/滨湖区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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高真空蒸发镀膜系统

1/台

198000

武汉普迪

PD-400S

1. 基片台：抽屉式结构，承载最大 100*100mm 样品，配气动基片挡板。样品台可 旋转，带水冷功能，基片与蒸发源距离手动可调，手动升降调节最大 距离 50mm 可调。 样品台旋转：样品片台可旋转，0～30 转／分 连续可调； 2. 配 4 组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构(最高温度 1500 度）；配备 TDK GEN8-180 蒸发电源 1 套，蒸发源电源具有恒流 和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制， 也可以手动控制。蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID（闭环控制），自 动调节蒸发速率。带数显。 3. 膜厚控制系统采用进口 INFICON 公司，型号：进口 SQC-310 配备 1 只水冷探头（进口）； 显示控制精度 0.01 埃；膜厚仪可自动控制金属蒸发电源输出。 4. 控制方式：西门子 PLC+触摸屏手自动控制；可输入速率及终厚，PID 调节自动控 制蒸发电源输出。 5. 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统 检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报 警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。

按行业标准提供服务