南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2024-00220
竞采采购公告

项目名称	无掩膜光刻机
项目编号	SUSTech-JC-2024-00220
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
采购方式	公开竞采
公告开始时间	2024-03-11 08:39:12
公告结束时间	2024-03-18 08:39:12
预算(元)	700000.00
项目预算是否含税	国产含税
备注

采 购 明 细
	序号	名称	数量	单位
	1	无掩膜光刻机（核心货物）	1	台
	是否接受进口 拒绝进口 品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 1.1光刻精度： 至少支持两个光刻镜头： 光刻镜头1：最小线宽≤1.2 µm，工作距离≥19 mm； 光刻镜头2：最小线宽≤0.8 µm，工作距离≥12 mm 1.2交互式套刻指引功能 1.3图像识别对焦 1.4支持光刻镜头电动切换 1.5曝光波长：405 nm 1.6数字掩模板分辨率：≥1920 * 1080，微镜尺寸≤7.6 um 1.7显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 1.8样品厚度：≥10 mm 1.9样品尺寸：≥100 mm * 100 mm 1.10支持样品旋转 1.11样品吸附：支持样品吸附 1.12设备软件： 原位光绘功能、物像绑定功能、成像拼接功能、畸变矫正功能 1.13画图软件：支持阵列画图、套刻画图 质保期 1年。 售后要求 供货方应为质量保证期服务配备充足的技术人员、工具和备件并保证提供的联系方式畅通。供货方应在收到采购人通知后24小时内作出响应，如需供货方到合同货物现场，供货方应在收到采购人通知后48小时内到达，并在到达后7日内解决合同货物的故障（重大故障除外）。
	付款方式	合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付70％的货款。
	交货期	合同签订后60天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前15天（自然日）通知送货