公告信息：
采购项目名称	北京大学信息科学技术学院感应耦合等离子增强化学气相沉积系统采购项目
品目	货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位	北京大学
行政区域	北京市	公告时间	2017年12月21日 15:32
本项目招标公告日期	2017年12月10日	成交日期	2017年12月21日
谈判小组、询价小组成员、磋商小组成员名单及单一来源采购人员名单	李君、董小艳、岳双林
总成交金额	￥194.5228 万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人	王军
项目联系电话	010-68290508
采购单位	北京大学
采购单位地址	北京市海淀区颐和园路5号 邮编：100871
采购单位联系方式	西老师；010- 62767130
代理机构名称	东方国际招标有限责任公司
代理机构地址	北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层1号 100081
代理机构联系方式	王军；010-68290508
附件：
附件1	北大信息---PECVD---1070--磋商--2--确认发布.doc

　　东方国际招标有限责任公司受北京大学的委托，就北京大学信息科学技术学院感应耦合等离子增强化学气相沉积系统采购项目项目（项目编号：OITC-G170311070-2）组织采购，评标工作已经结束，成交结果如下：

一、项目信息

项目编号：OITC-G170311070-2

项目名称：北京大学信息科学技术学院感应耦合等离子增强化学气相沉积系统采购项目

项目联系人：王军

联系方式：010-68290508

二、采购单位信息

采购单位名称：北京大学

采购单位地址：北京市海淀区颐和园路5号 邮编：100871

采购单位联系方式：西老师；010- 62767130

三、采购代理机构信息

采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司

采购代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层1号 100081

采购代理机构联系方式：王军；010-68290508

四、成交信息

招标文件编号：OITC-G170311070

本项目招标公告日期：2017年12月10日

成交日期：2017年12月21日

总成交金额： 194.5228 万元（人民币）

成交供应商名称、地址及成交金额：

包号	产品名称	规格型号	数量	服务要求	中标金额	中标供应商名称	中标供应商地址
1	感应耦合等离子增强化学气相沉积系统	SI500D	1	质保1年	248100欧元	安科瑞泰科技（北京）有限公司	北京市海淀区上地三街9号

谈判小组、询价小组、磋商小组成员名单及单一来源采购人员名单：

李君、董小艳、岳双林

五、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

包号	名称	数量	预算 （万元）	技术要求
1	感应耦合等离子增强化学气相沉积系统	1套	195	感应耦合等离子增强化学气相沉积系统主要用于低温沉积高质量氧化硅、氮化硅薄膜，是半导体纳米器件、集成电路中不可缺少的钝化需求设备。氮化硅薄膜是半导体纳米器件、半导体集成电路中最具应用前景的表面钝化、金属互联隔离材料，低温工艺来沉积氮化硅表面钝化膜是集成电路发展的必然趋势.

六、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

见补充事宜

七、其它补充事宜

包号	产品名称	规格型号	数量	服务要求	中标金额	中标供应商名称	中标供应商地址
1	感应耦合等离子增强化学气相沉积系统	SI500D	1	质保1年	248100欧元	安科瑞泰科技（北京）有限公司	北京市海淀区上地三街9号