公告摘要
项目编号xf-wsbx-2300346
预算金额-
招标公司浙江大学
招标联系人-
标书截止时间-
投标截止时间-
公告正文





项目名称 反射式显微膜厚测量仪 项目编号 XF-WSBX-2300346
公告开始日期 2023-08-28 08:08:07 公告截止日期 2023-09-04 10:00:00
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后15个工作日内 到货时间要求 成交后30个工作日内
预算总价 ¥ 350000.00 + NaN + NaN
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 浙江省杭州市浙江大学紫金港校区东五楼光及电磁波研究中心 超净室
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明



采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
反射式显微膜厚测量仪 1 光电测量仪器 无 无

品牌 品牌1 Filmetrics
型号 F40-UV
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价 ¥ 350000.00
技术参数及配置要求 1、设备品牌:Filmetrics
设备型号:F40-UV

2、主要用途:
采用无损非接触式光学测量,测量薄膜厚度,辅助测量其光学常数(n和k值);测量分析纳米级薄膜膜层情况,改进镀膜工艺,监测膜层质量。

3、配置清单:
3.1、膜厚测量仪主体
3.2、15×紫外可见红外反射式镜头
3.3、UVX全波长显微镜(SS-Microscope-UVX-1)

4、详细技术要求:
4.1、仪器类别:反射式光谱测量(90°角)
4.2、测量氧化硅厚度测量范围:4nm-30um
4.3、测量n和k值最小厚度要求:50nm
4.4、*波长范围:190-1100nm
4.5、光纤通光波长:190-2200nm
4.6、准确度(较大者):1nm或0.2%(针对附带氧化硅厚度标准片)
4.7、精度:0.02nm(针对附带氧化硅厚度标准片)
4.8、稳定性:0.05nm(针对附带氧化硅厚度标准片)
4.9、*标准厚度片:配置厚度约10000A的氧化硅厚度标准片,带聚焦和硅反射率参考测试区域。
4.10、镜头:配置15X紫外可见红外均透的反射式镜头。
4.11、*光斑尺寸:17um
4.12、光源及寿命:外置氘灯(2000小时)和钨卤灯(1200小时)
4.13、离线分析软件:可授权离线分析模拟软件(不需要连接主机)
4.14、*厚度拟合算法:至少拥有Exact,Robust和FFT三种厚度拟合算法
4.15、色坐标测量:可实现光谱CIE-L*a*b* 色坐标测量
4.16、文件导出格式:CSV,fibhi,mls
4.17、材料库:拥有不小于100种不同材料的数据库,可自由导入新材料文件。
4.18、原始信号:可实时显示光强原始信息,用于信号聚焦。
4.19、反射率模拟:可进行不同镀膜材料的建模,模拟镀膜膜系的反射率曲线。
参考链接
售后服务 电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;


浙江大学
2023-08-28 08:08:07
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