中标
中南大学-竞价结果详情(CB119422018000729) —— 紫外光刻机
金额
8.5万元
项目地址
湖南省
发布时间
2018/03/22
公告摘要
公告正文
中南大学 - 竞价结果详情 （CB119422018000729）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 紫外光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 03040000 光学仪器 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-03-21 12:00 |
| 竞价结束时间： | 2018-03-24 10:08 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 中国科学院光电技术研究所光学元件厂 | 紫外光刻机 | 1 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000/17 型 | 按行业标准提供服务 | （1）最大曝光面积：4 英寸； （2）光刻分辨力：1.5um（胶厚 2um 的正胶）， （3）对准精度：±1um （4）掩模样片整体运动范围： X：15mm;Y:15mm （5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸 （6）样片尺寸：直径 15mm-- 100mm；厚度 0.1mm--6mm（可扩展为 15mm） （7）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量 （8）照明不均匀性： 5%（直径100mm 范围） （9）最大曝光能量密度：6mW/cm2，能量密度可调整 | 85000.0 | 总价最低原则 |
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