过滤芯 个 2 过滤芯 件 6 oxide硅环（6寸） 个 2 oxide压环（6寸） 个 5 加热视窗 件 5 showerhead(6寸SIO2) 个 2 热偶规 件 20 Reflector 反射极 个 6 灯丝绝缘柱 件 100 泵组加装电控箱及加装N2管路 台 1 GAS MANIFOLD TUBE 离子源上气管 个 2 small lip seal viton 件 70 源气管组件 个 2 汞灯 件 3 O-RING 件 100 光电阻 件 4 ORING 件 20 E-SHOWER灯丝 件 20 Insulator 个 3 oxide硅环（6寸） 个 3 O形圈 件 6 加热视窗 件 6 PIN(6寸) 个 12 反射极屏蔽板 件 12 绝缘柱 件 100 端板 件 10 行星轴衬套 个 20 红外线灯管--100499812 件 50 Limit switch传感器 个 1 喷嘴 件 6 钨舟压块 个 40 O型圈（205*15） 件 20 钨舟扇形托盘 个 10 1200钼磨轮 个 1 上电极 个 3 基座 件 3 SHUTTER 个 2 VALVE ISO 1 1/2 MODIFICATIO 个 1 4420交流接触器 个 1 O-RING 个 5 O-RING 个 5 O-RING 个 5 ORING 件 5 oring 个 5 oring 个 5 ORING 个 5 O-RING 个 20 手臂齿轮（原厂） 件 2 ROBOT INTERCONNECT BD 个 1 PCB板 件 1 O形圈 个 5 深槽TCU冷却液 桶 1 手臂齿轮（原厂） 件 2 陶瓷柱子（短） 个 1 陶瓷柱子（长） 个 1 联轴器 个 1 交流24V中间继电器 个 1 磁控管 个 1