磁晶圆流片服务（ZJLAB-FS-DY2024021）单一来源公示 公示简要说明：之江实验室拟针对磁晶圆流片服务进行单一来源采购，具体如 下。 一、采购人名称：之江实验室 二、采购项目编号：ZJLAB-FS-DY2024021 三、采购项目名称：磁晶圆流片服务 四、采购项目概况：

序号	名称	单位	数量	预算单价（元）	简要规格描述	备注
1	磁晶圆流片服务	项	1	144000.0	一、服务内容与要求 1.工艺制 成：TMR 制备工艺 2.数量：6 个 TMR 芯片 3.交期：2024 年 7 月 20 日 4.芯片面积：32mm*25mm 5.售后服务：协助芯片磁阻率、灵敏度、噪声谱密度等测试 二、技术指标要求 1.晶圆具有 纳米多层膜和隧道结集成结构；2.TMR 磁阻率为 100%以上； 3. 磁场噪声谱密度为 20pT@1Hz 以 下； 4.芯片灵敏度 为 300mV/V/Oe 以上； 5.允许磁 场动态测量范围为 pT 至 μT；6.芯片工作区间线性度为 1 以 下； 三、质量预期效果及评判 标准 1.交付 6 个 TMR 芯片 2.交 付芯片测试报告，满足 TMR 磁阻 率达到 100%以上，芯片噪声谱 密度小于 20pT@1Hz，灵敏度达 到 300mV/V/Oe 以上，能够测量 pT 至 μT 间的磁场信号并且线 性度小于 1。

五、拟采用的采购方式： 单一来源 六、申请理由： 在“基于量子隧穿效应的室温无液氦便携式脑磁装置研制”项目中，由于 项目存在脑磁传感器开发需求，需要定制脑磁传感器晶圆。江苏多维科技有限 公司，是一家专注于隧道磁阻（TMR）磁传感器研发的设计服务提供商，其具有 专业的磁传感器晶圆产线及复杂制造工艺的先进设备，可以提供定制晶圆设计 与流片全方位服务。之江实验室脑磁传感器设计为全定制设计，需采用特定超 高真空磁控溅射装置和微纳加工平台实现晶圆制造。江苏多维科技有限公司需 要为之江实验室提供工艺流片服务，其负责与之江实验室对接进行流片加工并 于流片后交付之江实验室 picotesla 量级的 TMR 晶圆（能够完成 6 个传感器封 装），在确保原包装标准未拆封的情况下拥有一年质保且保证晶圆质量符合行 业标准。目前只有江苏多维科技有限公司能够提供相关设计工艺，并针对这种 全定制设计提供相应的流片服务，符合只能从唯一供应商处采购的单一来源条 件。 七、拟定供应商： 拟定唯一供应商名称：江苏多维科技有限公司 八、其它事项： 本项目公告期限为 3 个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式 及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之 日后的第 4 个工作日），以书面形式向采购人提出异议。 九、联系方式 采购人名称：之江实验室 联系人：魏老师 联系电话：0571-58009373 地址：杭州市文一西路 1818 号之江实验室 之江实验室 2024-06-19