1.项目名称：碳纳米管晶体管制备
2.成交供应商名称：北京交通大学
3.成交供应商地址：北京市海淀区西直门外上园村3号               
4.成交金额(币种)：19.5万元
5.付款方式：预付30%，服务完成，验收合格付70%
6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	碳纳米管材料-4寸晶圆片5片、	2023年6月1日-2024年5月31日
2	晶体管版图设计和制版
3	晶体管工艺研发与流片 包括光刻、电子束曝光、电子束蒸发镀膜、ICP干法刻蚀等工艺
4	晶体管性能测试

                                                                       
 
华中科技大学集成电路学院
2023年04月17日