1.项目名称：MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工
2.成交供应商名称：安徽京芯传感科技有限公司
3.成交供应商地址：中国（安徽）自由贸易试验区蚌埠片区禹会区长青乡兴华路南侧H-2路西侧智能显示产业园内6#厂房
4.成交金额(币种)：18.840万元
5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后付合同金额70%，

序号	服务内容	服务期限
1	技术指标: (1)光刻精度:1um (2)光刻胶厚度:>10um; (3)金属镀膜厚度误差:±50nm; 晶圆数量:12个	三个月

                                                                       
 
华中科技大学物理学院
2024年11月06日