项目名称：电子束蒸发镀膜系统
项目编号：JJ2023000084
采购单位：福州大学
联系人： 中标后在我参与的项目中查看
联系电话：中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求：成交后3个工作日内
到货时间要求：
预算总价：340000
收货地址：福州大学机械工程及自动化学院机械楼南306
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:电子束蒸发镀膜系统
采购数量:1
计量单位:台
预算单价:340000
技术参数及配置要求:1.极限真空度：≤5×10-5 Pa（经烘烤除气后）；
2.系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S；
3.系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-4 Pa；
4.基片尺寸：可放置4″基片；
5.基片加热最高温度：700°C±1°C；
6.基片可连续回转，转速5～60转/分；
7.基片与蒸发源之间距离300～350 mm可调；
8.E型电子枪及高压电源，电子枪功率0～8KW可调；
9.提供三种客户指定材料的制备工艺.
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