一、项目名称：无液氦光耦合扫描探针显微镜

二、招标编号：S2024016

三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　　传真：0512-67165076

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：仲老师　　　　电话：15195689860

电子邮箱：qgzhong@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

无液氦光耦合扫描探针显微镜　　1套

（一）主要技术参数及配置要求

整体要求：系统具有耦合光学信息的功能，可将激光引入针尖和样品之间的隧道结，实现低温针尖诱导和光诱导单分子反应结合。具备与液氦型杜瓦恒温器相同的低振动水平，无需灌注液体制冷剂的液氦闭循环多功能扫描探针系统。

1低温SPM核心部分

低温SPM为本套设备的核心模块，能够实现从室温到液氦温度区间进行SPM实验。氦闭环液化系统为连续流恒温器提供冷指，SPM探头通过弹簧悬挂于连续流恒温器下方，其外部包裹着两层低温屏蔽罩以保证降温。

扫描探头工作温度：4.5K～300K；

降温时间：由室温降至4.5K不超过10h；

温度稳定性：恒温实验室环境下±1mK；

温度漂移：XY≤100pm/h；Z≤50pm/h；

空间分辨率：能够实现HOPG或Au(111)表面的STM原子分辨成像及NaCl(100)或Si(111)表面的AFM原子分辨成像。

1.1氦闭环液化系统

1.1.1氦闭环液化系统采用GM型4K制冷机作为冷源对氦气降温液化，液氦通过柔性输液杆输入连续流恒温器为SPM降温，降温后的液氦气化返回氦气气路并再次输送至制冷机液化，进而循环降温。

1.1.2配套低温温度控制器：四路输入通道及四路输出通道。

1.2无液氦闭循环系统抽气泵组

该泵组须包含一套抽速80L/s分子泵（配套风冷降温装置）、一台机械干泵（抽速不小于6m³/h）及一个全量程规（1×10^-5Pa～1×10⁺⁵Pa）。

1.3分体式冷水机

制冷量不小于15kW分体式冷水机一套，用于给压缩机降温。

1.4连续流恒温器

连续流恒温器一套，安装于SPM腔体上方；CF63安装法兰，工作温度4K～430 K，底部含有一个加热器及二极管测温计。

1.5SPM探头及低温屏蔽罩

1.5.1 SPM探头需兼容旗型样品托；

1.5.2 粗移动范围≥2mm×2mm×5mm；

1.5.3 扫描范围≥4µm×4µm×1µm（室温）；

≥1.5µm×1.5µm×0.4µm（液氦温区）；

1.5.4低温屏蔽罩：两层低温屏蔽罩，铝材质，表面镀金；

1.5.5内层屏蔽罩底部预留一个低温存样位置，可将样品降温（降温后的样品可通过机械手抓至SPM腔解理）；

1.5.6 SPM探头样品附近装有低温传感器用于监测温度；

1.5.7 SPM探头一侧须安装一个透镜，透镜可通过纳米移动台驱动（XYZ=3mm×3mm×3mm）；

1.5.8 配套不少于5个STM针尖架，2个AFM针尖，1块HOPG样品。

1.6SPM控制器

1.6.1 Nanonis SPM控制器一套（主要包括BP5e主控器、HVS4高压电源、HVA4-0222高压放大器、PMD4压电陶瓷驱动器、OC4振荡器及连接线），须包含Lock-in模块。

1.6.2 配套STM前置放大器；

1.6.3 配套AFM前置放大器；

1.6.4 配套控制主机及双台显示屏；

1.6.5 配套CCD。

 2   SPM腔体部分

SPM部分用于承载低温SPM单元，为其提供超高真空环境；

SPM极限真空度优于2×10^-10 mbar。

2.1SPM腔体

2.1.1材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理；

2.1.2 腔体漏率优于1.33×10^-11Pa∙m³/sec；长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

2.2真空泵及真空规

2.2.1抽速400L/s离子泵一台（集成TSP)；

2.2.2 真空规一套，测量范围1.0×10^-3mbar～3.0×10^-11mbar；

2.2.3 配套所涉控制器及线缆。

2.3 真空阀门

CF100手动插板阀：用于隔断SPM腔与Prep腔的连接。

2.4机械手

用于样品及针尖传递。

2.5样品针尖暂存装置

不少于10个暂存位置，用于存储样品或针尖。

2.6观察窗

必要位置配备观察窗用于观测，观察窗数量不少于四个，其中一个材质为熔融石英观察窗（波长200nm以上透过率在90%以上，用于做原位光激发反应实验）。

 3  Prep部分

Prep部分为系统的样品制备及处理单元。该部分含有离子源，用于处理样品或者样品衬底；另外包含高低温样品台，用于对样品进行退火或降温及传递样品及针尖的作用。

Prep极限真空度：优于2×10^-10mbar。

3.1Prep腔

3.1.1 Prep腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理；

3.1.2 腔体漏率优于1.33×10^-11Pa∙m³/sec；长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

3.2真空泵及真空规

3.2.1 抽速400 L/s离子泵一台（集成TSP)；

3.2.2 抽速300L/s分子泵一台（配套风冷降温装置）；

3.2.3 真空规一套，测量范围1.33×10^-3mbar～2.66×10^-11mbar；

3.2.4 含所涉控制器及线缆。

3.3真空阀门

CF100手动插板阀：用于隔断Prep腔与300L/s分子泵的连接

3.4样品台

3.4.1 五轴高低温样品台；

3.4.2 样品运动：X/Y轴±12.5mm（手动）；

3.4.3 Z轴450mm（电动）；

3.4.4 轴向旋转±180°；

3.4.5 样品面内旋转±180°；

3.4.6 热辐射加热≤800℃；

3.4.7 液氮降温＜130K；

3.4.8 配套电机控制器、加热控制器及线缆。

3.5  离子源

3.5.1 5 keV 离子源（配套控制器）。

3.5.2 配套气路。气路分两路，一路连接Prep腔，一路连接SPM腔；每路气路均包含漏阀、真空隔断阀、减压阀，其中漏阀与腔体（或离子源）连接，减压阀与气体气瓶连接；气路通过Load-lock腔使用分子泵抽真空。

3.6 真空质谱检漏仪

RGA 300真空质谱检漏仪一套，须配电子倍增。

3.7观察窗

必要位置配备观察窗用于观测，观察窗数量两个。

4    Load-lock部分

Load-lock部分用于在不破坏主腔真空情况下向系统内传入样品/针尖，单次可传入多个样品或针尖；

Load-lock腔极限真空度优于5×10^-8mbar。

4.1Load-lock腔体

4.1.1 Load-lock腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理；

4.1.2 腔体漏率优于1.33×10^-11Pa∙m³/sec；长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

4.2真空泵及真空规

4.2.1 抽速80L/s分子泵一台（配套风冷降温装置）；

4.2.2 机械干泵一台，抽速不小于6m³/h；

4.2.3 全量程规一套，测量范围：1×10⁺³mbar～5×10^-10mbar；

4.2.4 含所涉控制器及线缆。

4.3真空阀门

4.3.1 CF40手动插板阀：用于隔断Prep腔与Load-lock腔的连接；

4.3.2 CF63手动插板阀：用于隔断80L/s分子泵与Load-lock腔的连接；

4.3.3 KF25 角阀×2；

4.3.4 CF16 真空Vent阀。

4.4样品针尖暂存装置

4.4.1 可存储不少于5个样品/针尖；

4.4.2 配套CF40线性驱动器，行程约100mm。

4.5磁力杆

4.5.1 CF40磁力杆，行程约550mm；

4.5.2 配套样品抓持头及端口对准器。

4.6观察窗

CF40普通观察窗。

5   外设

5.1系统隔振平台

铝型材系统支架；配套的主动隔振一套。

5.2烘烤装置

5.2.1 耐高温阻燃帐篷；

5.2.2 帐篷支架；

5.2.3 加热器×3；

5.2.4 加热带及加热环；

5.2.5 烘烤温度＜150℃；

5.2.6 配套烘烤控制器一套：六路输出通道与温度测量。

5.3机柜

用于安装系统所需控制器。

5.4其他附件

波纹管抽气管道、盲板法兰、支撑、耗材等。

（二）质保期不少于1年（验收合格后开始计算）。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，否则视为偏离。

（1）所投标产品多项不满足招标文件要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

（2）所投标产品不满足招标文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所投产品的市场反馈情况（9分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；

2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．投标人综合实力（2分）

根据投标人综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（6分）。

根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（3分）。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份，副本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年3月26日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十一、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年3月29日9:00前；

2. 收件人信息：

收件人：丁老师

联系方式：13862165427

收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2024年3月29日8:30～9:00

2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2024年3月29日9:00。

十三、开标时间：2024年3月29日9:00。

招标附件.rar