产品规格：

1、腔室净尺寸为≥Φ500×600 mm。2、腔室及衬板材料为304不锈钢，双层衬板。3、采用下座式转架，即有公转又有自转，正反向公自转速可调，调速采用“变频器+电机+减速机”构成。4、采用多位一体弧源结构，即：≥3个Φ60弧极弧组装成套，每个弧源采用电动引弧，高频引弧。5、≥3台逆变弧电源，电源最大电流≥200 A。6、大口径磁过滤管配有≥3个弧源靶，配有≥1套磁过滤系统，包括多个线圈以及≥1套磁过滤电源，电源具有电压可调。7、≥1套矩形平面磁控靶，采用高磁场强度材料，磁能级≥33 MGS，顽力≥1700；磁场强度≥3000 GS，磁体表面镀Ni，在120℃环境下不退磁。8、≥1台直流磁控电源，其空载电压为≥900 V，直流恒流源，电流可调，功率≥10 kW。9、≥1套阳极缝隙离化源，其中包括离化源发生器及离化电源各≥1套，离化电源最高电压为≥1500 V，电流可调。10、≥1套单脉冲偏压电源，脉冲频率为≥ 40 kHz，电压可调，占空比可调，功率为≥10 kW。11、极限真空度：≤6.7×10-4 Pa。12、工作周期：从大气抽到6.7×10-3 Pa≤15 min。13、漏率：≤0.5 Pa/小时。系统构造要求：★立式前开门结构，侧壁左边留有矩形磁控靶孔，右边留有阳极离化源孔（两孔可互换使用）；后部留有大弧源孔，可装有三位一体小弧源并配有一体大弯管磁过滤，按使用方法配有多个线圈从而达到过滤效果更佳；上部留有抽气孔，抽气口内部留有低温泵盘管；下部留有转架输入孔、加热器孔、门上留有观察窗孔，同时还留有备用弧源靶孔。

应标规格：

1. 真空室:1.1真空室尺寸: 净尺寸为φ500×600mm1.2真空室结构: 立式前开门结构，侧壁左边留有矩形磁控靶孔，右边留有阳极离化源孔（两孔可互换使用）；后部留有大弧源孔，可装有三位一体小弧源并配有一体大弯管磁过滤，按使用方法配有多个线圈从而达到过滤效果更佳；上部留有抽气孔，抽气口内部留有低温泵盘管；下部留有转架输入孔、加热器孔、门上留有观察窗孔，同时还留有备用弧源靶孔。材料为304不锈钢，有双层冷却水套，冷却水套中有导流槽，使整个室体冷却均匀，内表面抛光，外表面喷丸后电解纯化，造型美观。2.内衬板：采用不锈钢304材料，双层衬板。3.转架 ：采用下座式转架，即有公转又有自转，正反向公自转速可调，调速采用变频器+电机+减速机构成。4.弧源：采用三位一体弧源结构，即：3个ф60弧极弧装在一起，每个弧源采用电动引弧，高频引弧。5. 采用大功率逆变弧电源，最大电流200A。6. 采用大口径磁过滤管，同时可装入三位一体弧源头一个，配有1套磁过滤系统，包括多个线圈以及1套磁过滤电源,电源具有电压可调，便于日后工艺调试。7. 采用矩形平面磁控靶，具有北宇专制技术，采用高磁场强度材料，磁能级≥33MGS，顽力≥1700；磁场强度≥3000GS，磁体表面镀Ni，具有在120℃而不退磁的专利技术，保证靶在工作中稳定。靶材为钛，尺寸为300×110 mm。8. 磁控电源: 采用直流磁控电源，每个靶可单独使用，也可同时使用便于日后多种用途，其空载电压为900V，直流恒流源，电流可调，功率10KW。10. 离化源 : 采用阳极缝隙离化源，其中包括离化源发生器1台；及离化电源1套，离化电源最高电压为1500V，电流可调。1111. 偏压电源: 采用单脉冲偏压电源，其脉冲频率为40KHZ，电压可调，占空比可调，功率为10KW，电压分为3档，1000V 10A , 500V 20A, 200V 50A。12. 抽气系统：F-200分子泵机组1套，其中包括F-200分子泵（可任意角度安装）。机械泵TRP-60（中韩合资）1台; 机械泵TRP-36（中韩合资）1台; 低温泵, TH-135-20A，制冷面积为1m2 1台; 高真空气动插板阀1台，GDQ-J50高真空气动挡板阀3台，还有相应的机组管道等组成，材料为不锈钢。13. 加热系统: 采用不锈钢远红外K 装加热管，3套分布在整个真空室内表面，要采用 PID 变送输 出送电，温控精度高，热电偶测温度需采用 2点 测温，使室体内温度可达到500°C，温度可设、可控，可调整。14. 充气系统: 采用国产质量流量计阀3台，其流量范围：500sccm、200sccm、100sccm。质量流量显示器一台（4路，备留1路），混气罐1个，电磁截止阀4台。15. 电控系统 ; 采用全自动+手动控制两种方式，全自动采用PLC（进口）加大屏触摸屏15寸 1台，手动控制采用手感好，合资生产大按钮，便于日后维护使用。

售后服务：

设备在保修期内，如属正常损坏免费服务；如属操作不当损坏，只收材料费。终身维护。技术支持：免费安装、调试、人员培训；（包括1名维修工，2名操作工）。上课24节课，从理论到实践学习、实习。操作工直到独立操作，维修工达到简单问题都可以独立处理。