招标
南京理工大学2024年政府采购意向公开（第183批）
金额
258万元
项目地址
江苏省
发布时间
2024/10/17
公告摘要
公告正文
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京理工大学2024年政府采购意向公开（第183批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 固体微结构紫外光刻加工系统 | CGYX2024225 | A02062002 电气物理设备 | 购标名称：固体微结构紫外光刻加工系统。 采购标的数量：一套（台）。 设备指标：（1）无掩膜激光直写光刻；（2）最大行程：X=100mm，Y=100mm；（3）最小分辨率300nm，支持600nm、900nm的光学分辨率的自动切换；（4）配置高精密的温度控制器，控制温度±0.5℃；（5）样品尺寸：最大 125mm*125mm，向下兼容；（6）曝光尺寸：最大100mm*100mm；（7）最大扫描速度：200mm/s；（8）光刻速度：大于等于1.7mm2/min；（9）最大灰度光刻阶数：4095阶；（10）支持灰度光刻ECM面型补偿功能（11）样品固定方式：真空吸附，不同尺寸的卡盘进行样品定位；（12）自动聚焦：650nm红外实时聚焦；（13）支持GDSII，DXF，BMP，STL，TIFF等多种数据格式；（14）定位精度分辨率：2nm，重复定位精度：20nmRMS；（15）设备需集成度高，占地面积小于0.8m*0.8m*0.8m；（16）运行稳定，可长时间光刻；（17）设备的架构开源度高，可有利于更多的客制化开发和使用。 上述系统均应能提供全面且免费的安装和培训，质保期不少于1年，完整的售后服务及原厂技术支援响应。质保期外及时响应用户维护需要。 | 258 | 2024年12月 | 强基拓新创新平台 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2024年10月17日
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