品牌

MPF

型号

CF DN16

生产厂商

NMPF

产地信息

美国

技术规格及参数

1.基底：熔融石英（DUV级）
2.法兰材质：1.4429（316LN）
3.磁导率μ<1,01
4.平行度：<10
5.压力范围：10-10 mbar至1.0 bar
6.温度范围：-100°C至200°C*
7.可加热至200°C*
8.最大加热和冷却速率：25 K/min

售后及质保要求

中标人提供制造商免费质保【1】年， 提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【72】小时内派员上门现场维护，并在【120】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，提供相同档次、功能的设备给招标人代用。