整机尺寸(约):720mm(L)*550(W)*550mm(H)，(不含压力罐 推荐安装尺寸1020mm(L) *850(W)*850mm (H); 1.4 整机重量(约):45KG; 基片尺寸规格:60*80mm，厚度0.5mm; 设备类型:手动上下片，1个自动滴胶摆臂; 滴胶针头到基片的高度在0-10mm范围内可调； 设备带排废功能; 出胶口可安装针式过滤器。 最大转速:10000rpm(空载) 最大加速度:50000rpm/S(空载) 转速精度:±1rpm 转速分辨率:0.1rpm 管路:3路(1#光刻胶、2#光刻胶、3#光刻胶) 光刻胶供液方式:压力罐*3(将胶瓶直接放入压力罐，不可将胶液直接倒入压力罐)，最大选择 10L压力罐(内径209mm,内桶高 285mm) 液体流量可调

按行业标准提供服务

腔体材质 铝合金 供电电源 AC220V、1200W 电源功率 0-1000W可调 处理尺寸 ≤8寸 频率 40KHz 极限真空度 <10Pa 气体路数 2路  气体流量 0-1L/min（可调） 控制 触屏/按钮 清洗时间 1-300s连续可调 内腔尺寸 226mm*126mm*250mm（长*宽*深） 外形尺寸 471mm*417mm*286mm（宽*深*高） 重量 ≈30KG 真空泵 飞越VRD-8

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