东南大学 - 竞价公告 (CB102862024001337)
发布时间：2024-09-18 15:13:21 截止时间：2024-09-23 09:00:00
基本信息：
申购主题：高温真空清洁
仪
报价要求：国产含税
发票类型：电子发票（普通发票）
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/无锡市/滨湖区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

高温真空清洁 仪

1(台)

蚩煜

ST3.0

1. 系统真空 （1） 真空获得：配置Pfeiffer HiCube 80 Eco DN 63 CF-F 分子泵组，抽速67L/s，极限 真空1E10-7mbar。 （2） 真空测量：配置Pfeiffer PKR251 DN 35 CF-F 真空规，真空度量程范围 1E10-9mbar~1000mbar。 2．真空部件 （1） DN 63 CF-F 正方六通，材质SUS316L，一体加工无焊接，整体电解抛光。 （2） DN 63 CF-F 真空观察视窗。 （3） DN 63 CF-F 快速取样观察窗。 （4） DN 63 CF-F 冷却温控衬底座，标配兼容7 工位SEM 样品台。 （5） DN 63-35 CF-F 零距离转换法兰。 （6） DN 63 CF-F 手动破真空阀兼DN 16 CF-F port 法兰。 （7） DN 16 CF-F 流量调节阀。 （8） 整体系统漏率氦检漏率优于1*10-8 atm∙cc/sec (He)；系统常规真空度：开机半小 时内真空度优于5×10-6mbar；极限真空度：优于5×10-7mbar。 3．系统电源 人工智能算法PID 衬底温控电源，自动整定最佳PID 值，配置上位机管理软件，具备 仪器温控曲线、报警、掉电等自动记录功能，可程控加热温度、时间。加热上限温度不低于 600℃。温度精度±1℃。 4．水冷配置 标配D6 冷却循环接头，流量控制阀，需用户自行提供循环冷却气源。

按行业标准提供服务