项目名称：薄膜太阳能激光综合加工设备
项目编号：ZBZXJJ20240416
采购单位：四川大学
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到货时间要求：
预算总价：390000
收货地址：四川大学望江校区一环路南一段24号
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:薄膜太阳能激光综合加工设备
采购数量:1
计量单位:套
预算单价:390000
技术参数及配置要求:1. 设备名称：薄膜太阳能激光综合加工设备 2. 主要功能：用高能量的激光在玻璃基板表面进行划线的激光加工装置，根据不同的激光器配置，可进行不同的工艺作业。应用于薄膜太阳能电池、发光材料和器件等光电器件的制备，锂离子电池研发及生产、物理化学研究 、粉末冶金、原子核技术、特种焊接、催化剂研究、医药行业、材料处理 、特种灯研发及生产、精细化工、金属有机、聚合材料等行业。 3. 主要技术参数及要求 3.1 激光综合加工设备一台：薄膜太阳能激光综合加工设备。 3.2 支持产品尺寸：100*100mm（max） ★3.3 激光器2套： 3.3.1 紫外激光器 1) 激光类型：皮秒紫外 2) 波长：355nm 3) 频率范围：1-2000kHz 4) 脉宽：＜15ps 5) 光斑模式：TEM00(M2＜1.2) 6) 光束直径：1.5±0.5mm 7) 功率稳定性：＜2%RMS over 8 hour 8) 脉冲稳定性：＜2%RMS over 8 hour 9) 冷却方式：水冷 10) 具备SESAM自动换点功能 11) 支持Bust mode功能 12) 支持最多10个burst脉冲包络编辑功能 3.3.2 红外激光器 1) 激光类型：纳秒红外 2) 波长：1064nm 3) 频率范围：1-4000kHz 4) 脉宽：2-350ns分立可调 5) 光束质量： M2＜1.5 6) 光束直径：7±1mm 7) 输出功率不稳定：＜5% 8) 冷却方式：风冷 激光器来源于贝林激光（Amber NX UV-15-S 皮秒激光器）和锐科激光（RFL-P30MX光纤激光器） ★3.4 红外振镜扫描模组： 振镜单次扫描范围 100mm×100mm，扫描速度 3000mm/s，扫描精度 ≤±3μm；场镜焦距f=250mm；波长1064nm; 冷却方式：水冷;振镜来源于思特光电SCANEMXD系列; ★3.5紫外振镜扫描模组： 振镜单次扫描范围 100mm×100mm，扫描速度3000mm/s，扫描精度 ≤±3μm；场镜焦距f=250mm；波长355nm; 冷却方式：水冷;振镜来源于思特光电SCANEMXD系列; 3.6 影像系统： 能够实现CCD图像处理的工件自动定位识别，自动读取MARK，实现位置补正。图像定位识别分辨率优于0.002mm。 配备在线的尺寸检测模块，能测量划线宽度、划线间距要素。 500万像素，数字式，2X光学倍率，红色LED光源或定制光源， 影像系统来源于海康（相机）、灿锐（镜头） ★3.7 软件及电气控制系统： 1) 各轴全闭环控制，各轴配备自动行程限位装置，防止机床发生碰撞。 2) 设备软件应为独立开发，具备软件著作权，在硬件条件允许的情况下，终身免费升级软件服务。 3) 设备故障自诊断显示，并能自动急停，提出故障可能发生的原因。 4) 使用菜单技术的对话方式与人机界面。配有工艺专家系统，对各种材料，不同需求的打孔及切割工艺提供推荐参数集并可直接调用。 5) 动态跟踪加工状态，显示当前加工参数、当前程序、坐标位置等。 6) 能够支持多种文件格式的导入功能，含CAD软件DXF等格式的文档导入，可根据图纸自动生成加工路径。 7) 可同时实现XY轴联动和控制激光器根据XY轴位置出光，完成复杂图形微纳激光加工。 ★3.8 工艺指标： 1) 光斑大小<50μm 2) 划线直线度 ≤±5μm 3) 线宽P1:20-40μm；P2/P3:20-40μm 4) 死区宽度≤200μm 5) P1划刻后阻值≥20MΩ； 6) P3划刻线边缘单侧热影响区宽度≤5μm 7) P4清边干净无残留，清边后区域内任意两点阻值≥40MΩ 8) P1/P2/P3划刻线条边缘平滑，P1/P2火山口高度≤0.5μm；P3火山口高度≤5μm 4. 交货时间：四川省成都市四川大学望江校区，合同生效后10个工作日以内。 5. 付款方式：货到验收通过后付全款。
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