中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）单轴气浮直线位移平台采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2023]024号
项目名称	中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）单轴气浮直线位移平台采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	单轴气浮直线位移平台,单轴气浮直线位移平台	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2023-04-24 16:39	采购结束时间	2023-05-01 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后30天交货	经办人	王老师	经办人电话	84115092
送货地址	广州市番禺区中山大学东校区纳米楼
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
单轴气浮直线位移平台	1台		详情请进入系统查看
"单轴气浮直线位移平台"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 行程：5mm 重要 否 2 定位精度：±0.3μm 非常重要 是 3 重复定位精度：±0.1μm 非常重要 是 4 最大速度（空载）：5mm/s 重要 否 5 断电稳定性:5nm 重要 否 6 设备与控制电脑之间通过1394火线卡连接，控制协议是1394控制协议 重要 否 7 1394通讯线，6p to 6p， 重要 否 8 数据线，25pin，用于控制信号及光栅位置信号传输， 重要 否 9 电源线，6pin， 重要 否 10 配置清单：1、主机12、1394通讯线，数量12、数据线，数量13、电源线，数量1 重要 否 11 售后要求：保修期内，保修承担方接到维修通知，保修承担方人员应于48小时内到达现场处理，如货物在检修24 小时后故障仍无法排除，保修承担方应在最短48 小时内更换零配件，修复故障货物。货物的保修期随着检修期的出现而延长，以检修期的双倍计算延长保修期。 重要 否 12 需要与另外一台单轴气浮直线位移平台配合，支持A3200控制，支持插补运动 非常重要 否 13 验收要求：根据GB/T17421标准要求，在设备交付现场，当面测试定位精度等指标 重要 否

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
单轴气浮直线位移平台	1台		详情请进入系统查看
"单轴气浮直线位移平台"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 行程：100mm 重要 否 2 定位精度：±0.1μm 重要 否 3 重复定位精度：±50nm 非常重要 是 4 直线度：±0.15μm 重要 否 5 平面度：±0.75μm 重要 否 6 Pitch: ±0.75arc sec 非常重要 是 7 Yaw: ±0.75arc sec 非常重要 是 8 最大速度（空载）：100mm/s 重要 否 9 断电稳定性:5nm 重要 否 10 设备与控制电脑之间通过1394火线卡连接，控制协议是1394控制协议； 重要 否 11 1394通讯线，6p to 6p， 重要 否 12 数据线，25pin，用于控制信号及光栅位置信号传输 重要 否 13 电源线，6pin 重要 否 14 配置清单：1、主机12、1394通讯线，数量12、数据线，数量13、电源线，数量1 重要 否 15 售后要求：保修期内，保修承担方接到维修通知，保修承担方人员应于48小时内到达现场处理，如货物在检修24 小时后故障仍无法排除，保修承担方应在最短48 小时内更换零配件，修复故障货物。货物的保修期随着检修期的出现而延长，以检修期的双倍计算延长保修期。 重要 否 16 验收要求：根据GB/T17421标准要求，在设备交付现场，当面测试定位精度等指标 重要 否

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