清华大学离子减薄仪采购项目单一来源公示

一、采购人：清华大学

二、地址：北京市海淀区清华园

三、联系方式：王琦sbcwq@tsinghua.edu.cn

四、项目名称：离子减薄仪采购项目

项目编号：清设招第2022770号

五、采购内容：离子减薄仪

六、采用单一来源采购方式原因及说明

离子减薄仪利用电磁线圈精准控制离子束束斑（300μm~5mm连续调节），

从而有效获得满足电子束穿透厚度的薄区（＜100nm）；同时为满足温度敏感材

料的制备，还需要配备精准控温液氮冷台在减薄过程中对样品进行精准冷却，

控温范围要求-170℃~室温。为了确保最后薄区质量需要利用激光自动穿孔监测，

穿孔设备自动马达切换离子枪到小角度和低电压对薄区进行精修，减少非晶层

对透射电镜观察的影响。

目前仅有美国Fischione公司能够提供满足该要求的设备，故采用单一来

源方式采购。上海微纳国际贸易有限公司是指定代理商。

七、基本配置和技术要求：

1.束斑尺寸：300μm到5mm；

2.离子枪调节范围：不小于-15~+10°；

3.离子束束流密度：≥10mA/cm2；

4.样品台：能够水平360度连续旋转，每支离子枪能量均包含范围不小于

100eV到10keV；

八、供应商：上海微纳国际贸易有限公司

地址：上海市松江区顺庆路650号5号楼B栋

九、征求意见期限从2022年11月24日至2022年11月28日止。十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后1个工作日内将书面意见(包括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华大学(联系人：王琦62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。