采购项目名称：防震基座
采购项目编号：清采比选20240783号
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采购单位：清华大学
物资名称：防震基座
采购数量：1
计量单位：套
单价：￥380000
技术参数及配置要求：1 防震基座主要由钢结构、洁净室许可的环氧树脂、其他（混凝土等）组成，防震基座安装完成后，能够通过场地测试，并且满足设备厂商提出的各项抗震要求，确保工艺设备后续的调试运行工作顺利进行。 2 （1）工艺设备名称及数量：键合预对准机1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：奥地利/EVG Gourp E THALLNER EVG6200NT （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载0.67 t/m2，VC-D 3 （1）工艺设备名称及数量：晶圆减薄机1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：Disco DFG8540 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载0.97 t/m2，VC-C 4 （1）工艺设备名称及数量：CMP(RDL,TSV)1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：华海清科，Hwatsing Universal-200 smart （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载1.20 t/m2，VC-C 5 （1）工艺设备名称及数量：激光直写机1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：海德堡，DWL-66+ （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载0.25 t/m2，VC-B 6 （1）工艺设备名称及数量：扫描电子显微镜（360）1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：ZEISS，GeminiSEM 360 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载0.8 t/m2，VC-D； 振动：水平震动：允许震动值：Up to 10 Hz: Less than 0.04 mm/s2；10 - 20 Hz: Less than 0.17 mm/s2；20 - 70 Hz: Less than 0.30 mm/s2；Above 70 Hz: Less than 2.00 mm/s2 垂直震动：允许震动值：Up to 8 Hz: Less than 0.03 mm/s2；8 - 45 Hz: Less than 0.15 mm/s2；Above 45 Hz: Less than 2.00 mm/s2 7 （1）工艺设备名称及数量：环境扫描电子显微镜（560）1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：ZEISS，Sigma 560 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：荷载0.8 t/m2，VC-D 水平方向：10Hz以下：＜0.04mm/s2；10~20Hz：＜0.17mm/s2；20~70Hz：＜0.30mm/s2；70Hz以上：＜2.00mm/s2 垂直方向：8Hz以下：＜0.03mm/s2；8~45Hz：＜0.15mm/s2；45Hz以上：＜2.00mm/s2） 8 （1）工艺设备名称及数量：接触式光刻机1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：SUSS MicroTec Solutions GmbH，MA8 Gen4 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：0.29t/m2 ，VC-C 9 （1）工艺设备名称及数量：超声扫描显微镜1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：德国/PVA TePla Analystical System GmbH，SAM 301 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：0.6 t/m2 ，VC-C 10 （1）工艺设备名称及数量：双面对准光刻机1台 （2）工艺设备生产厂商及设备型号：SUSS MicroTec Solutions GmbH，MA200 Gen3 （3）荷载需求（t/m2）及防微震需求：900kg， VC-C
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