中标
云南大学 - 竞价公告 (CB106732020000088)-热蒸发真空镀膜复合系统
金额
-
项目地址
云南省
发布时间
2020/10/19
公告摘要
公告正文
首页 采购需求 竞价需求
发布时间:2020-10-19 14:28:14 截止时间:2020-10-22 14:35:53
基本信息:
申购明细:
序号
1
采购内容
热蒸发真空镀膜复合系统
数量
1套
预算单价
品牌
大连齐维科技发展有限公司
型号
无
规格参数
1.极限真空5×10-5Pa,真空漏率10-8Pa.l.s-1;
2.分子泵(FF160/620C,KYKY)×1套,机械泵(RVP-8,KYKY)×1台,全量程真空计一套;
3.基板夹具可以固定Omicron公司的旗形样品托,样品可加热至200℃(473K),同时配备液氮降温机构;可通过液氮(77K)降温;
4.配备4个舟状蒸发源,石英晶振膜厚仪1套(监测薄膜成长速度0.1~9999.9?.S-1和厚度1~9999?);
5.三工位惰性气体手套箱(Etelux/ MBRAUN),手套箱有气体净化功能,实现H2O和O2残留量小于1ppm,漏率小于<10-5mbar.l/s
6.真空蒸发镀膜与手套箱并联。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
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