一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-S00094

2、项目名称：等离子刻蚀沉积设备控制软件升级服务采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：等离子刻蚀沉积设备控制软件升级服务，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：我校微纳系统制造中央实验室（NFF实验室）因日常科研需要，采购了1批等离子刻蚀沉积设备（原厂/品牌：Oxford Instruments）。为更好满足实验室智能化改造的需求，提高科研效率和降低实验成本，现需为已购置的等离子刻蚀/沉积设备进行配套软件接口升级，用于提供自动化管理系统（如，EAP系统、MES等）与配套等离子设备控制软件PC4500、PTIQ进行信息交互的接口，主要用于设备状态监控与事件通知、远程控制与操作、数据收集与分析、配方管理、报警管理等。其使用的通讯协议为SECS/GEM协议，升级后将用于设备自动化改造、黑灯操作改造等，这些功能对提高科研效率，降低实验成本具有关键性作用。

经市场调研，本次采购的升级配件是在已购置的设备的基础上进行配套升级，并且涉及到软硬件的匹配与衔接，只有原设备厂商（Oxford Instruments）提供的独有配套通讯接口，才能保证与该设备的高度兼容和高度适配以达到最好的使用效果，目前市场上没有其他品牌的配件能够实现与其主机设备通讯的目标。因此，目前仅有Oxford Instruments的升级配件能够满足我校微纳系统制造中央实验室的所有需求。

综上，本项目拟采用定向采购方式向牛津仪器科技（上海）有限公司（Oxford Instruments在中国的全资子公司）采购等离子刻蚀沉积设备控制软件升级服务。

2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第（四）点“必须保证与原主体项目的统一性、兼容性需要继续从原供应商增购的”的情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：牛津仪器科技（上海）有限公司；地址：上海市徐汇区虹漕路461号60号楼1层

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：黄老师

联系电话：020-88331533

联系邮箱：carinajlh@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

                                                         2024年12月05日