一、项目基本情况

项目编号：JC066022856412

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心12寸晶圆键合机采购项目

预算金额：4880.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：4880.0000000 万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：东南大学微纳系统国际创新中心采购12寸晶圆键合机一套，主要技术要求如下：

1.系统用途：投标设备可用于12寸晶圆表面清洗、等离子激活和室温直接高精度对准键合，键合晶圆表面包括二氧化硅-铜混合表面、硅表面、氧化硅表面等等。

2.系统组成：

2.1设备主机。

2.2 湿法清洗模块。

2.3等离子激活模块。

2.4键合对准模块。

2.5对准验证模块。

2.6键合模块

2.7适用于蓝膜框（film frame）的湿法清洗系统

2.8适用于蓝膜框（film frame）的低温等离子激活系统

3.设备整体需兼容100级以上洁净环境。

4.设备主机规格：

4.1长*宽*高不超过5.0 m*4.0 m*3.0 m。

4.2主机内部为模块化设计，允许对每个模块进行单独维修。

4.3主机内部具有自动传送晶圆的机械臂和机械叉，运动重复定位精度小于±0.3 mm。

4.4标准晶圆位置调整器：非接触式光学调整器，可探测晶圆缺口、平槽位置，扫描晶圆尺寸为12英寸内。

本项目接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

合同履行期限：签订合同后16个月内设备安装调试合格。

本项目（ 不接受 ）联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：3.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度的财务报告，或投标截止时间前六个月内银行出具的资信证明，或财政部门认可的政府采购专业担保机构出具的投标担保函）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月缴纳增值税，或营业税，或企业所得税的凭据；并提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无 3.4第3.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商参与政府采购活动。采购代理机构将在开标结束后，通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

时间：2022年12月29日 至 2023年01月06日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：登录中招联合招标采购平台（以下简称平台）网址为：http://www.365trade.com.cn/

方式：（1）登陆平台下载电子招标文件。下载者首次登陆平台前，须前往平台免费注册，平台将对下载者注册信息与其提供扫描件信息进行一致性检查。注册为一次性工作，以后若有需要可变更及完善相关信息；注册成功后，可以及时参与平台上所有发布的采购项目；同一单位不同的经办人可各自建立不同账户。（2）下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、费用支付所需时间，下载者必须在前述时间段内完成支付，否则将无法保证获取电子招标文件。（3）下载者选择“需要邮购纸质标书”的，需支付邮购费，采购代理机构将在文件下载后的1个工作日内寄送。（4）下载者需要发票的，须通过平台“发票管理”模块进行操作。招标文件服务费及邮购费发票由采购代理机构出具；下载者选择出具增值税普通发票的，可在支付后3日内登陆前述模块下载增值税电子普通发票；选择出具增值税专用发票的，可在开标时在开标现场领取；平台服务费发票由中招联合信息股份有限公司（以下简称平台公司）自动出具增值税电子普通发票，下载者可在支付后3日内登陆前述模块下载。非因采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。（5）平台网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载者可以下载并根据操作手册提示进行注册、登录、下载支付、发票开具领取等操作。平台咨询电话为：010-86397110，服务时间为工作日上午9时至12时，下午1时到6时。平台会通过短信提醒下载者进行注册、支付、下载等操作。（6）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名义在平台办理注册、购买文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各方均具有约束力。（7）招标文件服务费每套400元，平台服务费200元，售后不退。

售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2023年01月30日 09点00分（北京时间）

开标时间：2023年01月30日 09点00分（北京时间）

地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标室1

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1预算金额：4880万元（不含外贸代理费）

2最高限价：4880万元（不含外贸代理费）

3本项目标的所属行业：工业

4提交投标文件截止时间、开标时间和地点

4.1 2023年1月30日09点00分（北京时间）

4.2递交文件地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标室1

开标地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标室1

4.3投标人应提供电子版投标文件1份（一般应为PDF格式、U盘形式（单独封装）、随纸质正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准。电子版文件用于辅助评标和平台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。

5本项目在 中国政府采购网 网站发布公告。

6本次招标请按“包”购买招标文件，编制、提交电子投标文件，提交投标保证金，并按“包”开标、评标。

7投标人应当从招标代理机构合法获得招标项目的招标文件。

8勘察现场或答疑：无

9投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投标截止时间前3个月的社保缴纳证明材料。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：东南大学　　　　　

地址：南京市四牌楼2号　　　　　　　　

联系方式：微纳平台：李老师 18052023621； 实验室与设备管理处：刘老师 025-83792693。　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：江苏省设备成套股份有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋9楼902室　　　　　　　　　　　　

联系方式：黄旭 025-86636850、18606195359 　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：黄旭

电　话：　　025-86636850、18606195359