HKUSTGZ-23-G00014科研用超高真空系统采购项目

中标

超高真空系统多气体高辉度单色化紫外光源模块样品架模块样品预处理系统超高真空抽气系统新型量子材料中精密电子结构与声子结构费勉仪器专用低温精密样品架超高真空腔的传送晶体样品样品表面处理真空紫外光源电子分析器电子枪主真空腔角分辨光电子谱测量非弹性电子散射谱测量超高真空腔体模块操控被测量的样品入射光子快速进样系统样品从大气压到超高真空环境的传送样品在真空环境下的表面处理实施测量无油机械泵级联分子泵组吸附剂泵超高真空测量系统温度计镀金冷屏样品托固定样品台配手轮样品R1 马达控制软件样品操作机械手开关屏蔽门安装法兰高辉度紫外光源紫外聚焦器高效固态射频电源全金属密封石英管专用冷却水压缩空气制冷压缩空气机烘烤装置紫外光栅单色器单色器腔体小光斑聚焦毛细管差分抽气腔体 ETC模块移动行程波纹管手动闸板阀紫外椭球聚焦管高效率聚焦毛细管组件真空规控制器多滤波片快速切换结构在一个VUV光源快速进样门一体成形超高真空标准的腔体法兰口离子规可烘烤控制线样品操纵台电阻加热模块温控器 PID控制 Theta 离子枪伸入腔体超高真空漏阀真空抽气管路安全阀放气阀中央控制系统真空控制及保护系统快速进样腔体隔断视窗

金额

项目地址

发布时间

2023/02/13

公告摘要

项目编号hkustgz-23-g00014

预算金额-

招标公司香港科技大学（广州）采购处

招标联系人林老师

中标公司费勉仪器科技（上海）有限公司

中标联系人-

公告正文

根据《香港科技大学（广州）采购管理制度》及相关规定，现组织（科研用超高真空系统采购项目）的定向采购，公示如下：

一、采购项目基本信息

1.项目编号：HKUSTGZ-23-G00014

2.项目名称：科研用超高真空系统采购项目

3.项目需求：超高真空系统1套，包括多气体高辉度单色化紫外光源模块、低温精密样品架模块、样品预处理系统（PREP）、真空腔与抽气系统模块，详见附件。

二、申请理由及依据

1.申请理由：为满足我校量子科技中心对新型量子材料中精密电子结构与声子结构的测量与研究需求，本项目拟采购超高真空系统1套，包括多气体高辉度单色化紫外光源模块、低温精密样品架模块、样品预处理系统（PREP）、真空腔与抽气系统模块，以提高实验探测效率。

经多方市场调研与了解，目前国内只有费勉仪器科技（上海）有限公司（以下简称“费勉仪器”）生产用于ARPES实验的多气体真空紫外光源，该光源兼容多种气体（如He、Xe、Ne、Ar、Ke等），可提供8~41eV的极大光能量选择范围，同时拥有<1meV的高能量分辨率、高辉度，可实现1017 photons/sec以上级别的紫外光发光效率，费勉仪器同时提供专用低温精密样品架（六轴闭循环）以及配套的真空腔与抽气系统（<1×10-10 mbar），形成超高真空系统集成方案，能完全满足本项目技术性能及科研需求，同时该公司能提供全面且具备针对性的售后服务保障，保证设备的系统稳定性和性能先进性。后经多名专家论证，费勉仪器技术实力及售后能力等方面，满足我校的采购需求。因此，费勉仪器是目前唯一能够满足本项目各项采购要求的供应商。

综上，本项目拟以定向采购方式向费勉仪器科技（上海）有限公司采购1套超高真空系统。

2.申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第3章“定向采购使用范围”中第（1）点“货物或服务只能由唯一供应商提供”的情形。

三、拟定供应商信息

1、供应商名称：费勉仪器科技（上海）有限公司；地址：上海市宝山区富联二路558号

四、公示期限

1. 自本公告发布之日3个工作日

五、凡对本次公示提出询问的，请按以下方式联系

1.采购处信息

联系人：林老师

联系电话：020-88331577　　　　　　　　

邮箱地址：jiaqilin@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

2023年02月13日

HKUSTGZ-23-G00014 采购需求.pdfHKUSTGZ-23-G00014 采购需求.pdf

科研用超高真空系统采购项目采购需求

一、产品需实现的功能与用途

该产品实现晶体样品从大气压到超高真空腔的传送、样品表面处理、并提供多种波长的

真空紫外光，同时，配合电子分析器、HREELS电子枪与主真空腔，实现针对晶体材料的角

分辨光电子谱与非弹性电子散射谱的测量。该系统主要用于探测晶体材料中的电子结构与表

面声子结构。

具体各部分的功能如下：

（1）角分辨光电子能谱（ARPES）超高真空腔体模块：维持角分辨光电子谱与非弹性电

子散射谱测量所需的真空环境；

（2）六轴闭循环（无液氦消耗）低温样品架：操控被测量的样品；

（3）多气体高辉度单色化（光栅型）紫外光源：提供角分辨光电子谱测量所需的入射光

子；

（4）快速进样系统：实现样品从大气压到超高真空环境的传送；

（5）样品预处理系统（PREP）：实现样品在真空环境下的表面处理以及连接快速进样系

统与实施测量的主真空腔。

二、拟采购产品一览表

序号	产品名称	数量	单位
1	角分辨光电子能谱（ARPES）超高真空腔体模块	1	套
2	六轴闭循环（无液氦消耗）低温样品架	1	套
3	多气体高辉度单色化（光栅型）紫外光源	1	套
4	快速进样系统	1	套
5	样品预处理系统（PREP）	1	套

三、技术参数要求

序号	设备及主要配件名称	指标重要性	技术指标要求
			1.2超高真空抽气系统：
			1.2.1无油机械泵，级联分子泵组，主分子泵抽气速度>650L/s
			（N2），次级分子泵抽气速度>65L/s（N2）；
1	角分辨光电子能谱（ARPES）超高真空腔体模块	★	1.1系统在充分烘烤后，本底真空优于1x10-10mbar；
			1.2.2真空抽气管路及控制线；
			1.2.3电磁控制安全阀和放气阀；
			1.3NEGGETTER吸附剂泵2000L/s，包含电源控制；安装在
			抽气腔；

		1.4.1超高真空离子规（<310-11mbar），包含可烘烤控制线
		（最高烘烤温度180度）；
		1.4.2全范围真空规（从10-9mbar到一个标准大气压），包
		含控制线，装在机械泵与次级之间；
		1.4.3真空规控制器组（集成到真空控制及保护系统中）；
		1.4.4压力范围：大气压~超高真空（1x10-11mbar）；测量通
		道：≥6；
		1.5超高真空抽气腔体：超高真空标准的不锈钢腔体，材质为
		SS316不锈钢，符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，可以连
		接分子泵，NEGGETTER等；装在分析腔（mu-metal腔体）下
		方。
		1.6中温蒸发源（用于金的蒸镀，实现样品费米面及分析器的校
		正）：
		1.6.1钽钨合金丝辐射加热；
		1.6.2工作温度：300~1500°C；最高除气温度：1600°C；热
		电偶类型：C型；
		1.4超高真空测量系统：
		1.6.3温度稳定性：±0.2°C；
		1.6.4烘烤温度：200°C；
		1.6.5安装法兰：DN40CF；
		1.6.6坩埚材料：Al2O3；
		1.6.7坩埚容积：10cc；
		1.6.8包含控制电源，PID控制；
		1.6.9包含水冷套及挡板；
		1.7质谱仪：
		1.7.1安装法兰：DN40CF；
		1.7.2测量范围：0-100amu；
		1.7.3用于腔体内残余气体成分的分析及检漏测试；
		1.8超高真空气动闸板阀VATDN150CF超高真空气动闸板
		阀，装在分子泵与腔体之间，用于保护分子泵；
		1.9超高真空气动闸板阀VATDN150CF超高真空气动闸板
		阀，装在NEGGETTER泵与腔体之间，用于保护NEG泵；
		1.10超高真空视窗和法兰符合超高真空标准的CF视窗和法
		兰。
		2.1.1该样品架中所有材料为无磁材料，样品台核心区域采用多
2	★	2.1六轴闭循环低温样品架：
2	★	种无磁、耐低温材料，确保极低温下的高热导及机械传动；
2	★	2.1.2安装法兰：DN100CF；

六轴闭循环

（无液氦消耗）

低温样品架

			2.1.4GM制冷机
			2.1.4.1无液氦消耗；
			2.1.4.2DN100CF安装法兰，符合超高真空标准；
			2.1.4.3CF16法兰带10芯电馈通，连接样品台温控系统；
			2.1.4.4两个旋转驱动分别连接样品台面内角R3和俯仰角
			R2；
			2.1.4.5热屏蔽；
			2.1.5样品台
			2.1.6俯仰角R2（Tilt）旋转：
			2.1.6.1旋转范围：60°（-15°,+45°），样品面朝下为正；
			2.1.6.2转动精度：<0.1°马达控制；
			2.1.7面内角R3（Azimuthal）旋转：
			2.1.7.1旋转范围：240°（-120°,+120°）；
			2.1.7.2转动精度<0.1°马达控制；
			2.1.3最高烘烤温度：120°C（去掉马达电机）；
			2.1.8温控系统
			2.1.8.1温度计：2个硅二极管温度计，分别位于样品台和cold
			finger；
			2.1.8.2微型加热器：50Ω，50W加热功率；
			2.1.8.3温控器专用线缆；PID控温模式；
			2.1.8.4温度精度：±0.1K；
			2.1.9马达控制系统：
			2.1.9.1R2、R3自由度通过高精度步进电机实现自动控制，可
			精确控制移动位置；
			2.1.9.2基于PC的马达控制软件，友好的用户界面，便于使
			用；
			2.2UHVXYZ-R1样品操作台：
			2.2.1X，Y，Z，R1四个自由度均通过步进电机实现自动控
			制，可精确控制移动位置；
			2.2.2X/Y方向采用交叉滚子和滚珠丝杆结构，结构强壮紧凑。
			Z方向采用光轴和滚珠丝杆的组合结构；
			2.2.3基于PC的马达控制软件，友好的用户界面，便于使用；
			2.2.4上（样品架）安装法兰：DN100CF；
			2.2.5下（腔体）安装法兰：DN150CF；

2.1.5.1镀金冷屏，确保样品能达到较低温度；

2.1.5.2兼容标准的flagtype样品托；

2.1.5.3一个硅二极管温度计位于样品台处；

2.1.5.4样品台温度范围：6K-325K；

			2.2.7重量：约80kg；





			2.2.8.2Z方向：



			DPRF通径，I.D.=100mm；
			最高烘烤温度120°C（去掉马达机）；2.2.8样品平移自由度范围：2.2.8.1X/Y方向：移动范围：±12.5mm；控制精度：0.01mm（马达控制）；配手轮旋转；I.D.：100mm；控制精度：0.01mm（马达控制）；2.2.9样品R1旋转自由度范围：角度范围：360°（±180°）；2.2.10.1X、Y、Z和R1四个自由度通过步进电机实现自动控制，可精确控制移动位置；2.2.10.2基于PC的马达控制软件，友好的用户界面，便于使用；2.3样品操作机械手：2.3.1用于样品托固定、开关屏蔽门等功能；2.3.2行程：150mm；2.3.3机械手前端距离安装法兰：115mm（收缩状态）；2.3.4安装法兰：DN35CF。	2.2.6

			控制精度：≤0.01°（马达控制，消除回程差后）；
			2.2.10马达控制系统：
3	多气体高辉度单色化（光栅型）紫外光源	★	3.1高辉度紫外光源：新型射频聚焦等离子真空紫外光源，结合特别设计的差分及紫外聚焦器，可为最先进的角分辨光电子能谱系统提供高光通量、高分辨、多能量光子、小光斑的真空紫外光源。包含完整的高效固态射频电源控制组件等。3.1.1全金属密封；3.1.2单根石英管最长可工作6个月；3.1.3多种气体兼容，如：He，Ne，Ar，Kr，Xe，输出能量范围：8.4eV（Xe），10.03eV（Kr），11.62eV（Ar），16.67eV（Ne），21.2eV（HeI），40.8eV（HeII）；3.1.4紫外光通量：>1x1014photons/sec；3.1.5配备冷却水及压缩空气制冷，包含专用冷却水及压缩空气机；

3.1.6配备烘烤装置，最高烘烤温度：120oC（灯头处最高烘烤

温度为80°C）；

3.2紫外光栅单色器：

3.2.1包含单色器腔体；

3.2.2紫外光栅：He（I21.2eV）/HeI（I40.8eV）；超环面结构

（Toroidal），一块光栅，通过调节角度，实现HeI和

HeII两个能量的单色化；

3.2.3小光斑聚焦毛细管；

3.2.4工作距离：10~15mm；

3.2.5能量分辨率：1meV@HeI21.2eV；

3.2.6样品处最小光斑：~0.5mm（10mm工作距离处）；

3.2.7样品处（1mm2）的最大光子数：~1012photons/sec；

3.2.8安装法兰：DN40CF；

3.3差分抽气腔及ETC模块：

3.3.1特殊设计的差分抽气腔体；

3.3.275mm移动行程波纹管；

3.3.3特殊设计VAT超高真空闸板阀，DN40CF，2件；

3.3.4特殊设计的紫外椭球聚焦管（ETC），高效率聚焦毛细管组

件；


				3.4真空紫外光源差分抽气系统：
				3.4.1分子泵，抽气速度>380L/s（N2），DN150CF，1套；
				3.4.2分子泵，抽气速度>65L/s（N2），DN63CF，3套；
				3.4.3无油涡旋机械泵，3台；
				3.4.4真空规（测量范围：10-9mbar~10-2mbar），2套；
				3.4.5特别设计的差分抽气系统，降低光源工作时对分析腔的真
				空增量；
				3.5紫外光源支撑架：
				3.5.1将单色化紫外光源与系统支架固定连接；
				3.5.2伸缩移动调节模块，使紫外光出光口沿着光路方向前进后
				退以实现样品对焦，240mm移动行程（沿着光方向）；
				3.5.3水平及垂直方向角度调节：±1o；
				3.5.4便于实验操作及日常维护；
				3.6高纯气体纯化及快速切换模块：
				3.6.1路高纯气路：He，Xe，Kr；
				3.6.2VCR连接方式；
				3.6.3DN16CF漏阀；
				3.6.4高纯气体纯化器；
			3.7定制多滤片快速切换装置：

			3.7.2特殊设计的多滤波片快速切换结构，包含3个滤波片；
			3.7.1匹配BL1010s和BL1200s系列真空紫外光源；
			3.7.3在一个VUV光源中兼容He，Ne，Ar、Kr和Xe；
			3.7.4更换便捷，无需破坏主腔真空。
			4.1.1超高真空标准的不锈钢腔体，材质为SS316，符合超高真
			空要求的不同尺寸法兰口，可以连接分子泵，观察视窗等；
			4.1.2橡胶圈密封快速进样门；
			4.1.3至少包含如下法兰口（具体数量以最终确认的图纸为准）：
			4.1.3.1DN63CF，1个，用于连接UFO；
			4.1.3.2DN63CF，1个，用于安装分子泵；
			4.1.3.3DN63CF，1个，用于安装快速进样门；
			4.1.3.4DN100CF，2个，用于安装样品停放台及视窗；
			4.1.3.5DN35CF，1个，用于安装传样杆；
			4.1.3.6DN35CF，1个，用于安装真空规；
			4.1.4包含快速进样门，便于日常取放样品；4.1.5腔体在充分
			烘烤后，本底真空好于5x10-8mbar；
			4.2超高真空抽气系统：
4	快速进样系统	★	4.1超高真空腔体：
			4.2.1分子泵，抽气速度>65L/s（N2），DN63CF；
			4.2.2无油涡旋机械泵；
			4.2.3抽气管路（SS304不锈钢波纹管）及控制线；电磁控制安
			全阀和放气阀；
			4.3超高真空测量系统：
			4.3.1真空规控制器（与系统共享，并集成到真空控制及保护系
			统中），压力范围：大气压~超高真空（1x10-11mbar），测试通
			道；≥6；
			4.3.2全量程真空规，包含控制线；
			4.4样品停放台：可同时停放6个样品托（Flag-Type样品
			托）；CF35线性驱动，75mm行程；CF16旋转驱动；
			4.5超高真空手动闸板阀，1套，用于ARPES腔与制备腔的
			隔断；
			4.6超高真空视窗和法兰：符合超高真空标准的CF视窗和法
			兰。
5	样品预处理系统（PREP）	★	5.1超高真空腔体5.1.1一体成形超高真空标准的腔体，材质为SS316不锈钢；符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，既可连接现有配置的部件，也可连接将来扩展需求的部件；

5.3.2离子规，DN35CF，测量范围：2x10-11mbar–1x10-3

mbar，包含可烘烤控制线（最高烘烤温度180度）；

5.3.3真空规，1x10-4mbar–大气压，包含控制线，装在分子

泵与机械泵之间；

5.4超高真空4轴样品操纵台

5.4.1样品台兼容flag-type样品托（如下图所示）；

5.4.2电阻加热模块，样品台工作温度：RT-950°C；

5.4.3温控器，PID控制，温度稳定性：±0.1°C；温控器具备

温度数显功能，包含PC接口；

5.4.4X/Y移动行程：±7.5mm；

5.4.5Z移动行程：100mm（最终行程以确认图纸为准）；

5.4.6Theta（R1，绕Z轴）旋转范围：±180°；

5.5离子枪

5.5.1DN40CF；

5.5.2能量调节范围：0.1~3keV；

5.5.3工作气压：10-5~10-6mbar；

5.5.4伸入腔体长度：110mm；

5.5.5包含超高真空漏阀；

5.5.6烘烤温度：150°C；

5.1.2包含的法兰口如下：DN100CF，6个；DN35CF，8个；5.1.3腔体在150度充分烘烤后，本底真空好于5x10-10mbar。5.2超高真空抽气系统5.2.1分子泵抽速>260L/s（N2），DN100CF；5.2.2无油机械泵，12m3/h抽速；5.2.3真空抽气管路、电磁控制安全阀和放气阀；集成到中央控制系统；5.3超高真空测量系统5.3.1真空规控制器（与ARPES超高真空系统共享，并集成到真空控制及保护系统中），压力范围：大气压~超高真空（1x10-11mbar），测试通道；≥6；5.6超高真空手动闸板阀，1套，用于预处理腔与快速进样腔体隔断；5.7超高真空视窗和法兰：符合超高真空标准的CF视窗和法兰。