招标
微纳加工平台采购（XHGD-CG-2024304）采购公告
金额
-
项目地址
浙江省
发布时间
2024/08/26
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 微纳加工平台采购 | 项目编号 | XHGD-CG-2024304 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-08-26 02:37:56 | 公告截止日期 | 2024-08-31 04:00:00 |
| 采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | 货到验收合格后支付100% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后15工作日 | 到货时间要求 | 签约后10个自然日 |
| 预算总价 | ￥ 490000.00 + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 杭州市西湖区石龙山街18号西湖大学云栖校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 微纳加工平台 | 1 | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 490000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 设备整体要求：采用大理石底座运动平台+钢结构机架；包含设备控制软件，能够实现自定义路径规划，与激光器等外置设备通讯并实现激光开关和激光参数调节；集成高度补偿功能硬件和软件算法，保证加工头与样品表面的距离变化在8寸幅面上控制在±2.5μm范围内。 外形参考尺寸：深（D）:600-1000mm；宽（W）:800-1200mm；高（H）:1300-1700mm； 微孔吸盘真空吸附：吸盘大小：200 mm*200mm；平面度：5μm；需满足8寸晶圆安装使用； 高度测量范围：±1.3mm，测量精度：±0.5μm； 行程：X轴行程：400mm；Y轴行程：400mm；Z0轴行程：10mm；Z1轴行程：50mm； 最大负载：Y轴：5kg+直线模组；X轴：5kg+Y轴+直线模组；Z0轴：吸盘+4 kg；Z1轴：5kg； 最大速度：X轴：500mm/s；Y轴：500mm/s；Z0轴：80 mm/s；Z1轴：50mm/s； 加速度：X轴：0.5G；Y轴：0.5G；Z0轴：0.5G；Z1轴：0.1G； 重复定位精度：X轴：± 0.2μm；Y轴：± 0.2μm；Z0轴：±0.5μm；Z1轴：±2μm； 定位精度：X轴：± 0.5μm；Y轴：± 0.5μm；Z0轴：±1μm；Z1轴：±5μm； 平面度：X轴：3-4μm；Y轴：3-4μm；Z1轴：4-6μm； 装配样品情况下精度： X/Y/Z轴重复定位精度±0.5μm； X/Y轴定位精度±0.5μm； Z轴定位精度±1μm； 装配样品情况下： X/Y轴以300 mm/s速度移动，加速度1 m/s2时，Z方向的匀速段抖动不超过5μm（以高度测量系统的测量数据为依据）； 软件： 1.具备用户身份设置和权限管理功能，支持用户登录日志记录和审计追踪，确保操作可追溯； 2.具备工艺参数存储功能，可保存常用的工艺参数，便于快速调用； 3.具备设备状态实时监测，提供设备运行状态的全面信息； 4.具备多种传感器接口，支持更换不同型号的测距传感器； 5.具备软件升级功能，支持离线的系统更新； 6.具备硬脆材料内部裂纹自动识别和定位功能。 注：若为进口设备投标，请按人民币报价（报价需包含外贸代理费） |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 质保期:一年;可以提供后期设备改装或者新功能增加服务; |
2024-08-26 02:37:56
解决方案
联系我们
返回顶部