中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）二维材料沉积与退火系统采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]911号
项目名称	中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）二维材料沉积与退火系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	二维材料沉积与退火系统	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-11-26 11:29	采购结束时间	2022-12-02 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后180天交货	经办人	黎老师	经办人电话	020-84115085-809
送货地址	广州市番禺区大学城中山大学东校园纳米楼
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、“★”标注的技术参数为废标条款，如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
二维材料沉积与退火系统	1套		详情请进入系统查看
"二维材料沉积与退火系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 PECVD系统：1、炉管尺寸：外径×内径×长：2～3.14" (80mm) OD×1.5～2.83" ID ×60～71'' L。 重要 否 2 PECVD系统：2、加热区参数：两块30段可编程控温仪表；两个单独控制的加热区每个加热区长度200mm；两个温区设置相同温度时，恒温区长度不低于250mm，最高工作温度1100°C，多个加热区，温度梯度最大可达 200°C。 重要 否 3 PECVD系统：3、等离子发射源：输出功率：5-500W±1%；射频频率：13.56MHz±0.005%；反射功率：最大 200W；匹配：自动；射频接口：30～50 Ω, N-type；噪音: <50dB；电源：AC 208-240V, 50/60Hz。 非常重要 是 4 PECVD系统：4、管内真空度：10^-2 Torr。 非常重要 是 5 真空快速退火系统：1、退火样片尺寸：一次可以对1片6英寸（或者小于6英寸的样品）退火。 重要 否 6 真空快速退火系统：2、气体进出通路：N2气。 重要 否 7 真空快速退火系统：3、退火温度范围：室温 到 1200 ℃。 重要 否 8 真空快速退火系统：4、配置至少24个红外加热灯，采用上下两排灯管加热独立加热。 重要 否 9 真空快速退火系统：5、最快升温速率150 ℃/second。 非常重要 是 10 真空快速退火系统：6、1分钟可由1200度降至400度。 非常重要 是 11 真空快速退火系统：7、退火温度的重复性± 1 ℃。 非常重要 否 12 真空快速退火系统：★9、整片样片退火温度均匀性达到 ：≤±1%设定温度，使用TCWAFER测量，需提供出厂测试报告。 重要 是 13 真空快速退火系统：★10、配置真空测量系统， 测量范围 12 至 5*10-2Pa。 重要 是 14 真空快速退火系统：11、水冷系统：5 bar 入口压力，16～20 °C 入口温度。 重要 否 15 真空快速退火系统：12、真空计 ：支持真空度10^-3 hPa测量；通过触摸屏显示和记录压力值。 重要 否 16 真空快速退火系统：13、碳化硅涂层石墨托盘：涂层厚度 50 μm；尺寸160毫米×160毫米 ×4 毫米；升温和冷却速率不低于20 K/sec。 重要 否 17 真空快速退火系统：14、循环冷水机：制冷功率：不低于9KW；系统远程控制。 重要 否 18 真空快速退火系统：15、机械泵：泵抽速不低于2.5立方米/小时；极限压力：不高于3×10^-3毫巴。 重要 否 19 真空快速退火系统：16、真空泵机组：管内真空可达10^-2 Torr, 防腐型真空计安装在左法兰上。 重要 否 20 真空快速退火系统：17、质量流量计：四个质量流量计(精度：±1.5%FS)：数字显示，自动控制。MFC1范围：0~100sccm；MFC2和MFC3范围：0~200sccm；MFC4范围：0~500sccm。 重要 否 21 保修范围： 厂家提供设备的终身维修；质保期内整机维修和定期保养（半年一次）等工作。供应商负责修理和替换任何由于设备自身的质量问题造成的损坏及故障，所发生的费用由供应商承担 重要 否 22 售后服务要求： 保修期内设备出现问题72小时内回应解决 重要 否 23 培训要求： 厂家提供不少于5个名额的现场技术培训，内容包括设备的工作原理、数据处理、使用方法、日常维护、一般常见故障的排除措施等。培训时提供完整的中文培训资料，包括使用说明书、工作原理图、数据处理、电气连接图、操作流程、注意事项、安装调试方法和维修指南，相关费用包含在投标报价中。 重要 否

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