| 项目名称 | 反应离子刻蚀机采购 | 项目编号 | TYLGJJCG2023-0172 |
| 项目编号 | TYLGJJCG2023-0172 | ||
| 公告发布日期 | 2023/10/30 15:48 | 公告截止日期 | 2023/11/02 15:48 |
| 公告截止日期 | 2023/11/02 15:48 | ||
| 采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 |
| 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥198,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起7日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省晋中市榆次区乌金山镇大学街209号太原理工大学明向校区 | ||
采购清单
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| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | |
| 反应离子刻蚀机 | 否 | 台 | 1 | 提供1年免费配套服务，免费配套服务期自验收合格之日起算。在免费配套服务期内，设备出现非人为因素导致的故障，乙方免费更换、维修、维护，乙方应在24小时内对甲方用户的服务要求作出相应，一般问题在48小时内解决。乙方免费向甲方用户提供验收之后3年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。 | |
| 品牌及型号 | 芯微诺达（RIE-100） 泰龙电子（RIE-100） | ||||
| 技术参数要求 | 1. ★样片尺寸：4英寸样品及以下 2. 反应腔室：6061铝材一体化加工，表面阳极氧化处理 3. 压力控制：电动插板阀，位置控制 4. 真空系统：分子泵，机械泵组成，分子泵抽速≥500L/s，机械泵抽速≥40m3/h 5. 本底真空：优于2x10-2Pa 6. ★真空测量：防腐工艺规（进口），大气压力开关（进口） 7. 温控系统：循环水冷 8. 气路系统：配置4路进气 9. 电源系统：500W射频电源 10. ★控制系统：Windows系统，软件控制系统：工控机+数据采集板卡控制，非PLC控制；免费升级，带有用户单位风格的定制化软件（包含用户单位图标图标，自动化操作界面，维护管理界面，工艺日志及操作日志查询，多级用户设置等），工控机配置：内存≥4G，硬盘≥256G固态硬盘 11. ★工艺导入：工艺参数可以通过移动存储介质导入，实现参数随工艺人员走，保证工艺的保密性 12. ★文件查询：支持Log文件查询，包括工艺日志、操作日志等。 13. ★软件更新：厂家需开放设备流程配置文件，支持自由修改例如匀气时间、控压时间、起辉稳定延时时间等参数的代码文件，配置文件采用config格式 14. 安全控制：异常报警 15. 刻蚀材料：硅基材料等适用性工艺 | ||||
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该项目其它公告
