清华大学FIB用纳米机械手采购项目单一来源公示

一、采购人：清华大学

二、地址：北京市海淀区清华园

三、联系方式：王琦sbcwq@tsinghua.edu.cn

四、项目名称:FIB用纳米机械手采购项目

项目编号：清设招第2022267号

五、采购内容：FIB用纳米机械手

六、采用单一来源采购方式原因及说明

实验室现有聚焦离子束系统（FIB，Crossbeam340）,配置纳米机械手需要满足以

下要求：纳米机械手采用四轴压电陶瓷控制，可以在任意方向直线移动针尖；操作使

用门槛低，重复性好，便于学生自主操作；可以实现批量取样，每取一个TEM样品

可以连同针尖放在针尖架上，集成一批后再放真空取出，利于提高提取效率；提取的

样品，可以旋转至任意角度，便于EDS等观测该样品任意位置；软件和现有牛津能

谱仪可以在同一电脑上控制，便于进行原位样品观测筛选。

经调研目前市场上仅牛津仪器OP400纳米机械手满足以上要求，故采用单一来源

的方式，建发（北京）有限公司是该公司该项目授权代理商。

七、仪器主要技术要求：

1）该设备为扫描电镜/FIB附属设备，可以批量化的高效率制备TEM样品；2）可以由现有能谱仪电脑和专用软件进行数字化控制，闭环设计，软件可以记

录行程和重复定位，能够在任何方向上进行直线移动，自由的对样品进行操作，方便

的编辑进针程序，重复性有保证；

3）采用压电陶瓷控制的四维高精度操作功能：能够在样品台坐标下的X,Y,Z方

向移动，可实现围绕针尖轴的旋转操作；

4）在软件的控制下，可实现步进方式移动和匀速移动；闭环步进方式的步长为

0.01um-500um，匀速方式的速度为0.1um/s-1000um/s；开环步进精度为1纳米；

5）采用样品台坐标系和样品仓壁坐标系双坐标系设计，可方便的自由切换视角，

方便控制;

6）采用原位换针技术，一次换样可以切下多个样品，成批的处理和取出，节省

换样时间；且可以原位进行SEM、EDS观测以及筛选，确保样品的价值，避免浪费TEM机时。

7）可以升级加配纳米力学测试模块或者纳米电学测试模块。

八、制造商：OxfordInstrumentsNanotechnologyToolsLtd.

地址：HalifaxRoad,HighWycombe,BucksHP123SE,UK

代理商：建发（北京）有限公司

地址：北京市东城区广渠门内大街43号12层43-（12）1201室

九、征求意见期限从2022年9月14日至2022年9月19日止。十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后1个工作日内将书面意见(包括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华大学(联系人：王琦62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。