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电子束曝光机为先导中心项目GAA器件的《关键工艺共性技术》、《CMOS器件与集成电路技术》、《高性能SRAM关键电路验证》的必要工艺设备。为保障项目的顺利推进，需要保障电子束曝光机的正常运行。电子束曝光机属于高精密设备，需定期进行专业维护才能正常运行。