招标
无掩模光刻机（JLU-KC24030）采购公告
金额
85万元
项目地址
吉林省
发布时间
2024/04/19
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 无掩模光刻机 | 项目编号 | JLU-KC24030 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2024-04-19 16:27:50 | 公示截止日期 | 2024-04-24 17:00:00 |
| 采购单位 | 吉林大学 | 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 国内合同签订后90个工作日内 |
| 预算 | ￥ 850,000 | ||
| 发票要求 | 增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ; 区域代理授权书 (必选) ; 须上传生产厂家盖章的针对本项目的授权书和售后服务承诺书。 (必选) | ||
| 收货地址 | 吉林大学 | ||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 无掩模光刻机 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | 赫智科技 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | TTT-07- UV Litho- ACA | ||
| 技术参数 | 1. 光刻精度： 至少支持两个光刻镜头： 光刻镜头 1：最小线宽≤1.2 μm，工作距离≥18 mm； 光刻镜头 2：最小线宽≤0.8 μm，工作距离≥12 mm 2. 交互式套刻指引功能 3. 支持主动对焦 4. 支持光刻镜头电动切换 5. 曝光波长：405±5 nm 6. 数字掩模板分辨率：≥1920 ×1080，微镜尺寸≤7.6 um 7. 显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 8. 光刻镜头电动切换时间：≤300 ms；重复定位精度：≤400 nm 9. 样品厚度：≥10 mm 10.样品尺寸：≥125 mm ×125 mm 11.支持样品电动旋转：电动样品旋转台，行程≥±20°，步进精度≤0.001° 12.样品吸附：支持样品吸附 13.设备软件： 原位光绘功能；物像绑定功能；成像拼接功能；畸变矫正功能 14.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 15.湿度控制：支持设备内部湿度控制 16.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。 2 、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。 3 、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。; | ||
吉林大学
2024-04-19 16:27:50
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