中标
西安电子科技大学-竞价结果详情(CB107012018000245) —— 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统
金额
30万元
项目地址
陕西省
发布时间
2018/07/06
公告摘要
公告正文
西安电子科技大学 - 竞价结果详情 （CB107012018000245）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-07-06 17:21 |
| 竞价结束时间： | 2018-07-14 10:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 沈阳晨鑫真空应用技术研究所 | 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统 | 1 | 沈阳晨鑫 | ZFS-500 | 我所将：严格按照并执行有关的质量标准，遵照质量体系所要求的，把好设计关、工艺关、加工关、安装调试关，按合同要求按时向用户提供一台完整的高质量的产品。并按时派人到甲方安装调试设备，同时负责培训2～3名用户方操作人员；自设备验收合格之日起，我方将免费保修一年，期间若因设备正常使用而发生的质量事故，我方将及时派人到用户处免费进行维修；并承诺做到24小时响应。若因用户操作失误造成的责任事故，我方维修后只核收工本费。保修期后，我方仍继续负责终身维修，维修后要核收工本费。 投标人：沈阳晨鑫真空应用技术研究所（盖章） 日 期： 2018 年 7月 9 日 | 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa （经烘烤除气后）； 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-4Pa； 系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成； 1 、真空室组件 1套 真空室为U型箱体活开门结构，尺寸为500mm ×500mm ×600mm，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1.1 、RF200法兰接口：1个（接旋转基片加热台组件）； 1.2 、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 1.3 、RF10法兰接口：1个（进气接口）； 1.4 、CF200法兰接口：1个（接分子泵）； 1.5 、CF35法兰接口：5个（接电离规管、膜厚仪、旁抽、2个备用）； 1.6 、CF16法兰接口：8个（进气接口、烘烤照明、高压放电电极、充气阀、蒸发电极挡板直接转轴、1个备用两芯引线、2个备用）； 1.7 、ZC16法兰接口：1个（接低真空规管）； 2、 旋转基片加热台（具体尺寸及数量根据用户要求设计） 1套 2.1、 单拱形基片架：2寸样品（可放置30片）； 2.2、 基片架可实现连续转动，转速5-20转/分钟连续可调； 2.3、 基片架旋转通过调速电机驱动，磁流体密封 3、离子轰击系统 1套 其中轰击电源：电压3000V,电流160mA，用于清洗样品表面。 4、电阻蒸发源 1套 4.1 、蒸发水冷电极4根，组成2个蒸发舟，蒸发控制电源2套，，蒸发电源电压10V，电流300A，最大输出功率3Kw； 4.2 、蒸发源手动控制挡板：1套； 5、电子枪及电源 1套 5.1 、270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率0—8 KW可调（成都）； 5.2 、电子枪阳极电压： 8kv； 5.3 、电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15mm（X，Y），备有遥控盒, 可手持遥控操作扫描； 5.4 、水冷式坩埚：四穴坩埚，每个容量约为11 ml，手动切换；单穴尺寸：Φ30mm ×Φ22mm ×22mm（圆台型）； 5.5 、可控制坩埚位置变化； 5.6 、由气动驱动坩埚挡板； 5.7 、具有高压灭弧自动复位功能； 3. 、石英晶体振荡膜厚监控仪 （国产） 1套 6.1 、监测膜厚显示范围：0~99μ9999？； 6.2 、厚度分辨率：1？； 6.3 、速率显示分辨率：0~9999.9 ？； 6.4 、控制精度：1 ？； 6.5 、监测时间显示范围：1分~99小时； 4. 、工作气路 3路 7.1 、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路（北京） 7.2 、微调阀（上海）、管路、接头等：1路； 7.3 、充气阀D6、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）； 5. 、抽气机组及阀门、管道 1套 8.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒，北京）； 8.2 、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，浙江）； 8.3 、KF40电磁压差阀：1台（上海）； 8.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ； 8.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ； 8.6 、CF200-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）； 6. 、窗口及法兰接口部件 1套 9.1 、RF100磁力旋转观察窗挡板：1个； 9.2 、CF16陶瓷封接两芯引线法兰：2个（照明及内烘烤引线、备用引线）； 9.3 、盲法兰CF16：2个；CF35：2个； 9.4 、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）； 7. 、安装机台架组件 1套 优质方钢型材焊接 | 300000.0 | 单项低价原则 |
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